Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• Main Authors: Грицына, В.И., Дудник, С.Ф., Опалев, О.А., Стрельницкий, В.Е.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Физика и технология конструкционных материалов
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137343
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Использование тлеющего разряда постоянного тока для синтеза алмазных покрытий / В.И. Грицына, С.Ф. Дудник, О.А. Опалев, В.Е. Стрельницкий // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 93-95. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Приведены результаты исследований по влиянию величины плавающего потенциала на подложкодержателях различных размеров на форму и стабильность горения разряда постоянного тока при наличии магнитного поля. Определены условия стабильного горения разряда в течение длительного времени (до 6 ч) при нулевом...