Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола
Разработан процесс синтеза композитных TiC-aC:H-покрытий методом совместного осаждения из плазмы вакуумно-дугового источника с титановым катодом и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола. В рамановских спектрах покрытий присутствуют пики, соответствующие карбиду титана TiC, а также пики D- и G-алмазоподоб...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/137372 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Композитные TiC-aC:H-покрытия, синтезированные при совместном осаждении из вакуумно-дугового источника титановой плазмы и плазмы ВЧ-разряда в парах бензола / А.А. Лучанинов, А.О. Омаров, В.Е. Стрельницкий, Р.Л. Василенко // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 1. — С. 110-113. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |