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The correlation between film structure and surface temperature

The structure of metal films deposited from fluxes of energetic and thermalized sputtered atoms has been studied in detail. The growth surface temperature Tsurf developing during the condensation of sputtered atoms has been measured by two independent techniques. Variations in the film structure fro...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Functional Materials
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Shaginyan, L.R., Belousov, I.V., Sedlyar, A.G.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	НТК «Інститут монокристалів» НАН України 2009
Schlagworte:	Characterization and properties
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/138930
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Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	The correlation between film structure and surface temperature // L.R. Shaginyan, I.V. Belousov, A.G. Sedlyar // Functional Materials. — 2009. — Т. 16, № 4. — С. 384-389. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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