Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films
Structural and mechanical properties of nanocomposite TiAI(Si)N thin films prepared using arc-plasma PVD deposition technique on WC-Co substrates have been characterized by X-ray diffraction and nanoindentation. TEM have been used to study the microstructure of thin films, in order to understand the...
Saved in:
| Published in: | Functional Materials |
|---|---|
| Date: | 2004 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
2004
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139468 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films / O.I. Nakonechna, M.I. Zakharenko // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 541-545. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862639083682004992 |
|---|---|
| author | Nakonechna, O.I. Zakharenko, M.I. |
| author_facet | Nakonechna, O.I. Zakharenko, M.I. |
| citation_txt | Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films / O.I. Nakonechna, M.I. Zakharenko // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 541-545. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Functional Materials |
| description | Structural and mechanical properties of nanocomposite TiAI(Si)N thin films prepared using arc-plasma PVD deposition technique on WC-Co substrates have been characterized by X-ray diffraction and nanoindentation. TEM have been used to study the microstructure of thin films, in order to understand the growth mechanism thereof. The maximum hardness of thin films was observed for materials of near the Al-Si eutectic composition. The smallest grain size (30 nm) in the film corresponds also to that composition.
Методами рентгеновского фазового анализа и наноиндентирования исследованы структурные и механические свойства нанокомпозитных тонких пленок на основе TiAISiN. Материалы получены методом катодного осаждения на подложку WC-Co. Для выяснения механизма роста тонких пленок проведены электронно-микроскопические исследования. Обнаружено, что максимальная твердость тонких пленок наблюдается для материалов с химическим составом вблизи области эвтектики Al-Si. Также этому составу соответствует наименьший размер кристаллита в пленке (30 нм).
Методами рєнтгєнівського фазового аналізу та наноіндентування досліджєно структуру та механічні властивості нанокомпозитних тонких плівок на основі TiAISiN. Матеріали одержано методом катодного осадження на підкладку WC-Co. З метою визначення механізму росту тонких плівок проведено електронно-мікроскопічні дослідження. Максимальна твердість плівок спостерігається для зразків, хімічний склад яких знаходиться поблизу області евтектики AI-Si. Цьому складу відповідає також і мінімальний розмір кристалітів (30 нм).
|
| first_indexed | 2025-12-01T00:27:30Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-139468 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1027-5495 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-01T00:27:30Z |
| publishDate | 2004 |
| publisher | НТК «Інститут монокристалів» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Nakonechna, O.I. Zakharenko, M.I. 2018-06-20T13:08:08Z 2018-06-20T13:08:08Z 2004 Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films / O.I. Nakonechna, M.I. Zakharenko // Functional Materials. — 2004. — Т. 11, № 3. — С. 541-545. — Бібліогр.: 17 назв. — англ. 1027-5495 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139468 Structural and mechanical properties of nanocomposite TiAI(Si)N thin films prepared using arc-plasma PVD deposition technique on WC-Co substrates have been characterized by X-ray diffraction and nanoindentation. TEM have been used to study the microstructure of thin films, in order to understand the growth mechanism thereof. The maximum hardness of thin films was observed for materials of near the Al-Si eutectic composition. The smallest grain size (30 nm) in the film corresponds also to that composition. Методами рентгеновского фазового анализа и наноиндентирования исследованы структурные и механические свойства нанокомпозитных тонких пленок на основе TiAISiN. Материалы получены методом катодного осаждения на подложку WC-Co. Для выяснения механизма роста тонких пленок проведены электронно-микроскопические исследования. Обнаружено, что максимальная твердость тонких пленок наблюдается для материалов с химическим составом вблизи области эвтектики Al-Si. Также этому составу соответствует наименьший размер кристаллита в пленке (30 нм). Методами рєнтгєнівського фазового аналізу та наноіндентування досліджєно структуру та механічні властивості нанокомпозитних тонких плівок на основі TiAISiN. Матеріали одержано методом катодного осадження на підкладку WC-Co. З метою визначення механізму росту тонких плівок проведено електронно-мікроскопічні дослідження. Максимальна твердість плівок спостерігається для зразків, хімічний склад яких знаходиться поблизу області евтектики AI-Si. Цьому складу відповідає також і мінімальний розмір кристалітів (30 нм). en НТК «Інститут монокристалів» НАН України Functional Materials Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films Вплив Si на мікроструктуру та механічні властивості тонких плівок на основі TiAISiN Article published earlier |
| spellingShingle | Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films Nakonechna, O.I. Zakharenko, M.I. |
| title | Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films |
| title_alt | Вплив Si на мікроструктуру та механічні властивості тонких плівок на основі TiAISiN |
| title_full | Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films |
| title_fullStr | Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films |
| title_full_unstemmed | Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films |
| title_short | Influence of Si on microstructure and mechanical properties of TiAISiN hard thin films |
| title_sort | influence of si on microstructure and mechanical properties of tiaisin hard thin films |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/139468 |
| work_keys_str_mv | AT nakonechnaoi influenceofsionmicrostructureandmechanicalpropertiesoftiaisinhardthinfilms AT zakharenkomi influenceofsionmicrostructureandmechanicalpropertiesoftiaisinhardthinfilms AT nakonechnaoi vplivsinamíkrostrukturutamehaníčnívlastivostítonkihplívoknaosnovítiaisin AT zakharenkomi vplivsinamíkrostrukturutamehaníčnívlastivostítonkihplívoknaosnovítiaisin |