Nb–Al–N-тонкие пленки: структурный переход от нанокристаллического твердого раствора nc-(Nb,Al)N к нанокомпозиту nc-(Nb, Al)N/a-AlN

• Veröffentlicht in: Сверхтвердые материалы
• Datum: 2016
• Hauptverfasser: Иващенко, В.И., Дуб, С.Н., Скрынский, П.Л., Погребняк, А.Д., Соболь, О.В., Толмачева, Г.Н., Рогоз, В.Н., Синельниченко, А.К.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
• Schlagworte: Получение, структура, свойства
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143832
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Nb–Al–N-тонкие пленки: структурный переход от нанокристаллического твердого раствора nc-(Nb,Al)N к нанокомпозиту nc-(Nb, Al)N/a-AlN / В.И. Иващенко, С.Н. Дуб, П.Л. Скрынский, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, Г.Н. Толмачева, В.Н. Рогоз, А.К. Синельниченко // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 2. — С. 40-54. — Бібліогр.: 27 назв. — рос.

Проведены исследования структуры и механических свойств тонких пленок системы Nb–Al–N, полученных при магнетронном распылении мишеней из ниобия и алюминия в атмосфере Ar–N₂. Показано, что с ростом концентрации алюминия структура тонких пленок из нанокристаллической превращается в нанокомпозитную, со...