Производительность полирования анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники
В результате исследований закономерностей формирования прецизионных поверхностей элементов из анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектронной техники сформулирована обобщенная модель съема обрабатываемого материала при полировании суспензиями полировальных порошков. Установлено, что...
Saved in:
| Published in: | Сверхтвердые материалы |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143834 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Производительность полирования анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники / А.Ю. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 2. — С. 65-76. — Бібліогр.: 27 назв. — рос. |