Производительность полирования анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники

В результате исследований закономерностей формирования прецизионных поверхностей элементов из анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектронной техники сформулирована обобщенная модель съема обрабатываемого материала при полировании суспензиями полировальных порошков. Установлено, что...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Сверхтвердые материалы
Datum:2016
Hauptverfasser: Филатов, А.Ю., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143834
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Производительность полирования анизотропных монокристаллических материалов для оптоэлектроники / А.Ю. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 2. — С. 65-76. — Бібліогр.: 27 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine