Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов

• Published in: Сверхтвердые материалы
• Date: 2016
• Main Authors: Филатов, А.Ю., Сидорко, В.И., Ковалев, С.В., Филатов, Ю.Д., Ветров, А.Г.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2016
• Subjects: Исследование процессов обработки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/143845
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Шероховатость полированных поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических материалов / А.Ю. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров // Сверхтвердые материалы. — 2016. — № 3. — С. 63-76. — Бібліогр.: 32 назв. — рос.

В результате исследований закономерностей формирования плоскостей монокристаллов с различной кристаллографической ориентацией установлено, что при полировании сапфира параметры шероховатости Ra, Rq, Rmax уменьшаются в ряду c > r > m > a при уменьшении диэлектрической проницаемости, коэффици...