Сharging of a macroparticle in cathodic arc sheath

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• Main Authors: Romashchenko, E.V., Bizyukov, A.A., Girka, I.О.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147354
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Сharging of a macroparticle in cathodic arc sheath / E.V. Romashchenko, A.A. Bizyukov, I.О. Girka // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 4. — С. 176-180. — Бібліогр.: 27 назв. — англ.

The macroparticle (MP) contamination is the most important technological problem of cathodic vacuum arc deposition of coatings. The electrostatic reflection of MP from the substrate is considered as a possible reason for the reduction in number of MPs in the presence of reactive gas. It is shown t...