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Сharging of a macroparticle in cathodic arc sheath

The macroparticle (MP) contamination is the most important technological problem of cathodic vacuum arc deposition of coatings. The electrostatic reflection of MP from the substrate is considered as a possible reason for the reduction in number of MPs in the presence of reactive ga...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Вопросы атомной науки и техники
Datum:	2018
Hauptverfasser:	Romashchenko, E.V., Bizyukov, A.A., Girka, I.О.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
Schlagworte:	Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/147354
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Сharging of a macroparticle in cathodic arc sheath / E.V. Romashchenko, A.A. Bizyukov, I.О. Girka // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 4. — С. 176-180. — Бібліогр.: 27 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

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