Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure

The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature ar...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Вопросы атомной науки и техники
Date:2018
Main Authors: Bazhenov, V.Yu., Gubarev, S.M., Tsiolko, V.V., Levko, D.S.
Format: Article
Language:English
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-149059
record_format dspace
spelling Bazhenov, V.Yu.
Gubarev, S.M.
Tsiolko, V.V.
Levko, D.S.
2019-02-19T15:01:18Z
2019-02-19T15:01:18Z
2018
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.80.Pi
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059
The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented.
Наведено результати дослідження параметрів плазми високочастотного ємнісного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску методом фотометрії її гальмівного випромінювання в спектральному діапазоні ≈ 400…600 нм. Експериментально отримано усереднені за часом просторові розподіли температури електронів плазми в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах горіння розряду. Представлено порівняння експериментальних результатів з попередніми даними комп’ютерного моделювання розряду методом часток у комірці.
Представлены результаты исследования параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления методом фотометрии ее тормозного излучения в спектральном диапазоне ≈ 400…600 нм. Экспериментально получены усредненные по времени пространственные распределения температуры электронов плазмы в слаботочном α- и сильноточном γрежимах горения разряда. Представлено сравнение экспериментальных результатов с предварительными данными компьютерного моделирования разряда методом частиц в ячейке.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
Фотометрична діагностика плазми планарного ємнісного ВЧ-розряду в аргоні при тиску 1 атм
Фотометрическая диагностика плазмы планарного емкостного ВЧ-разряда в аргоне при давлении 1 атм
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
spellingShingle Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
Bazhenov, V.Yu.
Gubarev, S.M.
Tsiolko, V.V.
Levko, D.S.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title_short Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_full Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_fullStr Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_full_unstemmed Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_sort photometric diagnostics of plasma of planar capacitive rf discharge in argon at 1 atm pressure
author Bazhenov, V.Yu.
Gubarev, S.M.
Tsiolko, V.V.
Levko, D.S.
author_facet Bazhenov, V.Yu.
Gubarev, S.M.
Tsiolko, V.V.
Levko, D.S.
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
publishDate 2018
language English
container_title Вопросы атомной науки и техники
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
format Article
title_alt Фотометрична діагностика плазми планарного ємнісного ВЧ-розряду в аргоні при тиску 1 атм
Фотометрическая диагностика плазмы планарного емкостного ВЧ-разряда в аргоне при давлении 1 атм
description The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented. Наведено результати дослідження параметрів плазми високочастотного ємнісного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску методом фотометрії її гальмівного випромінювання в спектральному діапазоні ≈ 400…600 нм. Експериментально отримано усереднені за часом просторові розподіли температури електронів плазми в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах горіння розряду. Представлено порівняння експериментальних результатів з попередніми даними комп’ютерного моделювання розряду методом часток у комірці. Представлены результаты исследования параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления методом фотометрии ее тормозного излучения в спектральном диапазоне ≈ 400…600 нм. Экспериментально получены усредненные по времени пространственные распределения температуры электронов плазмы в слаботочном α- и сильноточном γрежимах горения разряда. Представлено сравнение экспериментальных результатов с предварительными данными компьютерного моделирования разряда методом частиц в ячейке.
issn 1562-6016
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059
citation_txt Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
work_keys_str_mv AT bazhenovvyu photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure
AT gubarevsm photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure
AT tsiolkovv photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure
AT levkods photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure
AT bazhenovvyu fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm
AT gubarevsm fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm
AT tsiolkovv fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm
AT levkods fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm
AT bazhenovvyu fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm
AT gubarevsm fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm
AT tsiolkovv fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm
AT levkods fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm
first_indexed 2025-12-07T17:02:48Z
last_indexed 2025-12-07T17:02:48Z
_version_ 1850869776634609664