Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure

The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in
 atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are
 presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electro...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Вопросы атомной науки и техники
Дата:2018
Автори: Bazhenov, V.Yu., Gubarev, S.M., Tsiolko, V.V., Levko, D.S.
Формат: Стаття
Мова:Англійська
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862706953025748992
author Bazhenov, V.Yu.
Gubarev, S.M.
Tsiolko, V.V.
Levko, D.S.
author_facet Bazhenov, V.Yu.
Gubarev, S.M.
Tsiolko, V.V.
Levko, D.S.
citation_txt Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
collection DSpace DC
container_title Вопросы атомной науки и техники
description The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in
 atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are
 presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for
 low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the
 preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented. Наведено результати дослідження параметрів плазми високочастотного ємнісного розряду з
 ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску методом фотометрії її гальмівного випромінювання
 в спектральному діапазоні ≈ 400…600 нм. Експериментально отримано усереднені за часом просторові
 розподіли температури електронів плазми в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах горіння
 розряду. Представлено порівняння експериментальних результатів з попередніми даними комп’ютерного
 моделювання розряду методом часток у комірці. Представлены результаты исследования параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда с
 изолированными электродами в аргоне атмосферного давления методом фотометрии ее тормозного
 излучения в спектральном диапазоне ≈ 400…600 нм. Экспериментально получены усредненные по времени
 пространственные распределения температуры электронов плазмы в слаботочном α- и сильноточном γрежимах горения разряда. Представлено сравнение экспериментальных результатов с предварительными
 данными компьютерного моделирования разряда методом частиц в ячейке.
first_indexed 2025-12-07T17:02:48Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-149059
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1562-6016
language English
last_indexed 2025-12-07T17:02:48Z
publishDate 2018
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
record_format dspace
spelling Bazhenov, V.Yu.
Gubarev, S.M.
Tsiolko, V.V.
Levko, D.S.
2019-02-19T15:01:18Z
2019-02-19T15:01:18Z
2018
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ.
1562-6016
PACS: 52.80.Pi
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059
The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in
 atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are
 presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for
 low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the
 preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented.
Наведено результати дослідження параметрів плазми високочастотного ємнісного розряду з
 ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску методом фотометрії її гальмівного випромінювання
 в спектральному діапазоні ≈ 400…600 нм. Експериментально отримано усереднені за часом просторові
 розподіли температури електронів плазми в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах горіння
 розряду. Представлено порівняння експериментальних результатів з попередніми даними комп’ютерного
 моделювання розряду методом часток у комірці.
Представлены результаты исследования параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда с
 изолированными электродами в аргоне атмосферного давления методом фотометрии ее тормозного
 излучения в спектральном диапазоне ≈ 400…600 нм. Экспериментально получены усредненные по времени
 пространственные распределения температуры электронов плазмы в слаботочном α- и сильноточном γрежимах горения разряда. Представлено сравнение экспериментальных результатов с предварительными
 данными компьютерного моделирования разряда методом частиц в ячейке.
en
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
Вопросы атомной науки и техники
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
Фотометрична діагностика плазми планарного ємнісного ВЧ-розряду в аргоні при тиску 1 атм
Фотометрическая диагностика плазмы планарного емкостного ВЧ-разряда в аргоне при давлении 1 атм
Article
published earlier
spellingShingle Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
Bazhenov, V.Yu.
Gubarev, S.M.
Tsiolko, V.V.
Levko, D.S.
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
title Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_alt Фотометрична діагностика плазми планарного ємнісного ВЧ-розряду в аргоні при тиску 1 атм
Фотометрическая диагностика плазмы планарного емкостного ВЧ-разряда в аргоне при давлении 1 атм
title_full Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_fullStr Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_full_unstemmed Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_short Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
title_sort photometric diagnostics of plasma of planar capacitive rf discharge in argon at 1 atm pressure
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059
work_keys_str_mv AT bazhenovvyu photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure
AT gubarevsm photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure
AT tsiolkovv photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure
AT levkods photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure
AT bazhenovvyu fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm
AT gubarevsm fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm
AT tsiolkovv fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm
AT levkods fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm
AT bazhenovvyu fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm
AT gubarevsm fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm
AT tsiolkovv fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm
AT levkods fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm