Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure
The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature ar...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2018 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2018
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-149059 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Bazhenov, V.Yu. Gubarev, S.M. Tsiolko, V.V. Levko, D.S. 2019-02-19T15:01:18Z 2019-02-19T15:01:18Z 2018 Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.80.Pi https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059 The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented. Наведено результати дослідження параметрів плазми високочастотного ємнісного розряду з ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску методом фотометрії її гальмівного випромінювання в спектральному діапазоні ≈ 400…600 нм. Експериментально отримано усереднені за часом просторові розподіли температури електронів плазми в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах горіння розряду. Представлено порівняння експериментальних результатів з попередніми даними комп’ютерного моделювання розряду методом часток у комірці. Представлены результаты исследования параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда с изолированными электродами в аргоне атмосферного давления методом фотометрии ее тормозного излучения в спектральном диапазоне ≈ 400…600 нм. Экспериментально получены усредненные по времени пространственные распределения температуры электронов плазмы в слаботочном α- и сильноточном γрежимах горения разряда. Представлено сравнение экспериментальных результатов с предварительными данными компьютерного моделирования разряда методом частиц в ячейке. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Низкотемпературная плазма и плазменные технологии Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure Фотометрична діагностика плазми планарного ємнісного ВЧ-розряду в аргоні при тиску 1 атм Фотометрическая диагностика плазмы планарного емкостного ВЧ-разряда в аргоне при давлении 1 атм Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| spellingShingle |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure Bazhenov, V.Yu. Gubarev, S.M. Tsiolko, V.V. Levko, D.S. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| title_short |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_full |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_fullStr |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_full_unstemmed |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure |
| title_sort |
photometric diagnostics of plasma of planar capacitive rf discharge in argon at 1 atm pressure |
| author |
Bazhenov, V.Yu. Gubarev, S.M. Tsiolko, V.V. Levko, D.S. |
| author_facet |
Bazhenov, V.Yu. Gubarev, S.M. Tsiolko, V.V. Levko, D.S. |
| topic |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| topic_facet |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии |
| publishDate |
2018 |
| language |
English |
| container_title |
Вопросы атомной науки и техники |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Фотометрична діагностика плазми планарного ємнісного ВЧ-розряду в аргоні при тиску 1 атм Фотометрическая диагностика плазмы планарного емкостного ВЧ-разряда в аргоне при давлении 1 атм |
| description |
The results of study of the plasma parameters of radio frequency capacitive discharge with isolated electrodes in
atmospheric-pressure argon by means of bremsstrahlung photometry in wavelength range 400…600 nm are
presented. Time-averaged spatial distributions of the plasma electron temperature are experimentally obtained for
low-current α-and high-current γ-modes of the discharge glow. The comparison of the experimental results with the
preliminary data of the discharge computer modeling by a particle-in-cell method is presented.
Наведено результати дослідження параметрів плазми високочастотного ємнісного розряду з
ізольованими електродами в аргоні атмосферного тиску методом фотометрії її гальмівного випромінювання
в спектральному діапазоні ≈ 400…600 нм. Експериментально отримано усереднені за часом просторові
розподіли температури електронів плазми в слабкострумовому α- та сильнострумовому γ-режимах горіння
розряду. Представлено порівняння експериментальних результатів з попередніми даними комп’ютерного
моделювання розряду методом часток у комірці.
Представлены результаты исследования параметров плазмы высокочастотного емкостного разряда с
изолированными электродами в аргоне атмосферного давления методом фотометрии ее тормозного
излучения в спектральном диапазоне ≈ 400…600 нм. Экспериментально получены усредненные по времени
пространственные распределения температуры электронов плазмы в слаботочном α- и сильноточном γрежимах горения разряда. Представлено сравнение экспериментальных результатов с предварительными
данными компьютерного моделирования разряда методом частиц в ячейке.
|
| issn |
1562-6016 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149059 |
| citation_txt |
Photometric diagnostics of plasma of planar capacitive RF discharge in argon at 1 atm pressure / V.Yu. Bazhenov, S.M. Gubarev, V.V. Tsiolko, D.S. Levko // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 259-262. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| work_keys_str_mv |
AT bazhenovvyu photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure AT gubarevsm photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure AT tsiolkovv photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure AT levkods photometricdiagnosticsofplasmaofplanarcapacitiverfdischargeinargonat1atmpressure AT bazhenovvyu fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm AT gubarevsm fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm AT tsiolkovv fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm AT levkods fotometričnadíagnostikaplazmiplanarnogoêmnísnogovčrozrâduvargonípritisku1atm AT bazhenovvyu fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm AT gubarevsm fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm AT tsiolkovv fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm AT levkods fotometričeskaâdiagnostikaplazmyplanarnogoemkostnogovčrazrâdavargonepridavlenii1atm |
| first_indexed |
2025-12-07T17:02:48Z |
| last_indexed |
2025-12-07T17:02:48Z |
| _version_ |
1850869776634609664 |