Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2018
• Main Authors: Belous, V.A., Lunyov, V.M., Kuprin, A.S., Bortnitskaya, M.A.
• Format: Article
• Language: English
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2018
• Subjects: Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/149070
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Structure and properties of TiOx and TiNxOy coatings formed in vacuum ARC plasma fluxes / V.A. Belous, V.M. Lunyov, A.S. Kuprin, M.A. Bortnitskaya // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 297-299. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.

The structure, microhardness and protective properties of titanium oxide and titanium oxynitride coatings formed
 in vacuum arc plasma fluxes depending on the negative potential on the substrate and the oxygen pressure, and also
 on the oxygen content in the gas mixture (N₂+ O₂) were...