Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода

• Date: 2017
• Main Authors: Курапов, Ю.А., Крушинская, Л.А., Борецкий, В.В.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут електрозварювання ім. Є.О. Патона НАН України 2017
• Series: Современная электрометаллургия
• Subjects: Новые материалы
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160334
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Морфология поверхности и тонкая структура толстых углеродных пленок, полученных электронно-лучевым испарением углерода / Ю.А. Курапов, Л.А. Крушинская, В.В. Борецкий // Современная электрометаллургия. — 2017. — № 2 (127). — С. 53-58. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Приведены результаты исследования морфологии поверхности и тонкой структуры толстых (25…50 мкм) пленок углерода, полученных из паровой фазы с использованием электронно-лучевой технологии испарения графита и последующей конденсации в вакууме. Исследованы структуры углеродных пленок в широком интервале температур конденсации 100...1500 оС. Комплексные исследования методами растровой и просвечивающей электронных микроскопий показали, что основное влияние на формирование углеродного конденсата оказывает температура подложки (конденсации). С ростом температуры конденсации размерные характеристики кристаллитов, образующих углеродную пленку, увеличиваются от 2...4 до 20...80 мкм. Установлено, что внутренняя структура кристаллитов во всем исследуемом температурном интервале остается практически неизменной и состоит из агрегатов размером 0,015...0,030 мкм, которые имеют нанорозмерную структуру и состоят из кластеров размером 3...6 нм.