Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K

Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K

Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора по...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2003
Hauptverfasser: Надточий, В.А., Жихарев, И.В., Голоденко, Н.Н., Киселев, Н.С.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України 2003
Schriftenreihe:Физика и техника высоких давлений
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167965
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-167965
record_format dspace
fulltext
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1679652025-02-09T11:40:57Z Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K Рентгенівське дослідження дефектів структури у приповерхневих шарах монокристалів германію та кремнію, деформованих при 310 К X-ray investigation of structure defects in subsurface layers of germanium and silicium single crystals deformed at 310 K Надточий, В.А. Жихарев, И.В. Голоденко, Н.Н. Киселев, Н.С. Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора показали, что распределения интенсивностей пучков, отраженных от поверхностей деформированных и недеформированных кристаллов, отличаются. По виду кривых распределения интенсивностей в максимуме рентгеновских рефлексов эталонного и исследуемого образцов можно дать качественную оценку увеличения плотности дефектов. X-ray diffraction method in standard Bragg geometry was used to investigate the density of defects in subsurface layers of deformed Ge and Si single crystals. X-ray maxima distribution was explored in the movable sample and motionless detector system. It was shown that intensity distributions of X-ray beams reflected from the surfaces of deformed and undeformed samples were different. Qualitative estimation of defects density in deformed crystal can be made by examination of X-ray reflexes intensity distributions on deformed and undeformed samples 2003 Article Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 71.10.-W https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167965 ru Физика и техника высоких давлений application/pdf Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
description Использован метод рентгеновской дифракции в стандартной геометрии Вульфа - Брэгга для исследования плотности дефектов в приповерхностных слоях деформированных монокристаллов германия и кремния. Исследования поверхности рентгеновских максимумов в системе подвижного образца и неподвижного детектора показали, что распределения интенсивностей пучков, отраженных от поверхностей деформированных и недеформированных кристаллов, отличаются. По виду кривых распределения интенсивностей в максимуме рентгеновских рефлексов эталонного и исследуемого образцов можно дать качественную оценку увеличения плотности дефектов.
format Article
author Надточий, В.А.
Жихарев, И.В.
Голоденко, Н.Н.
Киселев, Н.С.
spellingShingle Надточий, В.А.
Жихарев, И.В.
Голоденко, Н.Н.
Киселев, Н.С.
Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
Физика и техника высоких давлений
author_facet Надточий, В.А.
Жихарев, И.В.
Голоденко, Н.Н.
Киселев, Н.С.
author_sort Надточий, В.А.
title Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_short Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_full Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_fullStr Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_full_unstemmed Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K
title_sort рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 k
publisher Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
publishDate 2003
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/167965
citation_txt Рентгеновские исследования дефектов структуры в приповерхностных слоях монокристаллов германия и кремния, деформированных при 310 K / В.А. Надточий, И.В. Жихарев, Н.Н. Голоденко, Н.С. Киселев // Физика и техника высоких давлений. — 2003. — Т. 13, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
series Физика и техника высоких давлений
work_keys_str_mv AT nadtočijva rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k
AT žihareviv rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k
AT golodenkonn rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k
AT kiselevns rentgenovskieissledovaniâdefektovstrukturyvpripoverhnostnyhsloâhmonokristallovgermaniâikremniâdeformirovannyhpri310k
AT nadtočijva rentgenívsʹkedoslídžennâdefektívstrukturiupripoverhnevihšarahmonokristalívgermaníûtakremníûdeformovanihpri310k
AT žihareviv rentgenívsʹkedoslídžennâdefektívstrukturiupripoverhnevihšarahmonokristalívgermaníûtakremníûdeformovanihpri310k
AT golodenkonn rentgenívsʹkedoslídžennâdefektívstrukturiupripoverhnevihšarahmonokristalívgermaníûtakremníûdeformovanihpri310k
AT kiselevns rentgenívsʹkedoslídžennâdefektívstrukturiupripoverhnevihšarahmonokristalívgermaníûtakremníûdeformovanihpri310k
AT nadtočijva xrayinvestigationofstructuredefectsinsubsurfacelayersofgermaniumandsiliciumsinglecrystalsdeformedat310k
AT žihareviv xrayinvestigationofstructuredefectsinsubsurfacelayersofgermaniumandsiliciumsinglecrystalsdeformedat310k
AT golodenkonn xrayinvestigationofstructuredefectsinsubsurfacelayersofgermaniumandsiliciumsinglecrystalsdeformedat310k
AT kiselevns xrayinvestigationofstructuredefectsinsubsurfacelayersofgermaniumandsiliciumsinglecrystalsdeformedat310k
first_indexed 2025-11-25T22:29:26Z
last_indexed 2025-11-25T22:29:26Z
_version_ 1849803162677936128

Ähnliche Einträge