Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода
Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физика и техника высоких давлений |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України
2017
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168135 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862536347139440640 |
|---|---|
| author | Изотов, А.И. Кильман, Г.В. Сироткин, В.В. Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. |
| author_facet | Изотов, А.И. Кильман, Г.В. Сироткин, В.В. Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. |
| citation_txt | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физика и техника высоких давлений |
| description | Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина оптической щели вследствие избирательного стравливания sp²-гибридизированного углерода.
The effect of supercritical isopropanol treatment on the optical properties of carbon nitride films is studied. The films are grown by magnetron sputtering of a graphite target on cover glass substrates. As a result of treatment, the transparency of the films is increased as well as the width of the optical gap due to selective etching of the sp²-hybridized carbon.
|
| first_indexed | 2025-11-24T11:18:49Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-168135 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 0868-5924 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-24T11:18:49Z |
| publishDate | 2017 |
| publisher | Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Изотов, А.И. Кильман, Г.В. Сироткин, В.В. Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. 2020-04-22T17:53:32Z 2020-04-22T17:53:32Z 2017 Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода / А.И. Изотов, Г.В. Кильман, В.В. Сироткин, Р.В. Шалаев, А.М. Прудников // Физика и техника высоких давлений. — 2017. — Т. 27, № 2. — С. 22-26. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 0868-5924 PACS: 81.15.Gh, 81.60.–j https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168135 Исследовано влияние обработки сверхкритическим изопропанолом на оптические свойства пленок нитрида углерода, выращенных методом магнетронного распыления графитовой мишени на подложках из покровного стекла. Показано, что в результате обработки возросла прозрачность пленок, а также увеличилась ширина оптической щели вследствие избирательного стравливания sp²-гибридизированного углерода. The effect of supercritical isopropanol treatment on the optical properties of carbon nitride films is studied. The films are grown by magnetron sputtering of a graphite target on cover glass substrates. As a result of treatment, the transparency of the films is increased as well as the width of the optical gap due to selective etching of the sp²-hybridized carbon. ru Донецький фізико-технічний інститут ім. О.О. Галкіна НАН України Физика и техника высоких давлений Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода The effect of supercritical fluid treatment on the optical properties of carbon nitride films Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода Изотов, А.И. Кильман, Г.В. Сироткин, В.В. Шалаев, Р.В. Прудников, А.М. |
| title | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_alt | The effect of supercritical fluid treatment on the optical properties of carbon nitride films |
| title_full | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_fullStr | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_full_unstemmed | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_short | Влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| title_sort | влияние обработки сверхкритическим флюидом на оптические свойства пленок нитрида углерода |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168135 |
| work_keys_str_mv | AT izotovai vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvoistvaplenoknitridaugleroda AT kilʹmangv vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvoistvaplenoknitridaugleroda AT sirotkinvv vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvoistvaplenoknitridaugleroda AT šalaevrv vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvoistvaplenoknitridaugleroda AT prudnikovam vliânieobrabotkisverhkritičeskimflûidomnaoptičeskiesvoistvaplenoknitridaugleroda AT izotovai theeffectofsupercriticalfluidtreatmentontheopticalpropertiesofcarbonnitridefilms AT kilʹmangv theeffectofsupercriticalfluidtreatmentontheopticalpropertiesofcarbonnitridefilms AT sirotkinvv theeffectofsupercriticalfluidtreatmentontheopticalpropertiesofcarbonnitridefilms AT šalaevrv theeffectofsupercriticalfluidtreatmentontheopticalpropertiesofcarbonnitridefilms AT prudnikovam theeffectofsupercriticalfluidtreatmentontheopticalpropertiesofcarbonnitridefilms |