Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів

• Published in: Комп’ютерні засоби, мережі та системи
• Date: 2019
• Main Authors: Лєбєдєва, Т.С., Шпильовий, П.Б., Фролов, Ю.О.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2019
• Subjects: Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА).
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168478
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів / Т.С. Лєбєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.О. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2019. — № 18. — С. 62-69. — Бібліогр.: 11 назв. — укр.

Цель исследований – установление зависимости между режимами осаждения пленок алюминия и их структурой, а также структурой формируемых из них пленок пористого анодного оксида алюминия (ПАОА). The aim of the research is to investigate the relationship between the deposition modes of aluminum films, th...