Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів

• Опубліковано в: : Комп’ютерні засоби, мережі та системи
• Дата: 2019
• Автори: Лєбєдєва, Т.С., Шпильовий, П.Б., Фролов, Ю.О.
• Формат: Стаття
• Мова: Українська
• Опубліковано: Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України 2019
• Теми: Мета досліджень – встановлення залежності між режимами осадження плівок алюмінію та їх структурою, а також структурою отримуваних з них плівок пористого анодного оксиду алюмінію (ПАОА).
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168478
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів / Т.С. Лєбєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.О. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2019. — № 18. — С. 62-69. — Бібліогр.: 11 назв. — укр.

Цель исследований – установление зависимости между режимами осаждения пленок алюминия и их структурой, а также структурой формируемых из них пленок пористого анодного оксида алюминия (ПАОА). The aim of the research is to investigate the relationship between the deposition modes of aluminum films, their structure and properties of porous anodic alumina (PAA) films obtained from the aluminum films.