Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів
Цель исследований – установление зависимости между режимами осаждения пленок алюминия и их структурой, а также структурой формируемых из них пленок пористого анодного оксида алюминия (ПАОА). The aim of the research is to investigate the relationship between the deposition modes of aluminum films, th...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Комп’ютерні засоби, мережі та системи |
|---|---|
| Datum: | 2019 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
2019
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168478 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Вплив структури плівок алюмінію та режимів формовки пор на нанопоруватий анодний оксид алюмінію для оптичних сенсорів / Т.С. Лєбєдєва, П.Б. Шпильовий, Ю.О. Фролов // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2019. — № 18. — С. 62-69. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |