Дослідження застосувань нанотекстурованого сапфіру як темплету при MOCVD-гетероепітаксії ІІІ-нітридів

• Published in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Date: 2018
• Main Authors: Суховій, Н.О., Ляхова, Н.М., Масол, І.В., Осінський, В.І.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2018
• Subjects: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/168761
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Дослідження застосувань нанотекстурованого сапфіру як темплету при MOCVD-гетероепітаксії ІІІ-нітридів / Н.О. Суховій, Н.М. Ляхова, І.В. Масол, В.І. Осінський // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2018. — Т. 20, № 3. — С. 13–20. — Бібліогр.: 28 назв. — укр.

Розглянуто придатність нанотемплетів текстурованого сапфіру в процесі MOCVD III-нітридів щодо застосування в GaN-фотодіодах ультрафіолетового (УФ) діапазону і для шарів акумулювання енергії. Визначено термодинамічні параметри (температуру, тиск) і прекурсори в процесі MOCVD для утворення нанотемплет...