Формирование наноструктур оксид никеля—оксид индия методом CVD

• Published in: Украинский химический журнал
• Date: 2010
• Main Authors: Герасимчук, А.И., Железнова, Л.И., Мазуренко, Е.А., Мурафа, Н., Роговцов, А.А., Шубрт, Я.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут загальної та неорганічної хімії ім. В.І. Вернадського НАН України 2010
• Subjects: Неорганическая и физическая химия
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/186040
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Формирование наноструктур оксид никеля—оксид индия методом CVD / А.И. Герасимчук, Л.И Железнова, Е.А. Мазуренко, Н. Мурафа, А.А. Роговцов, Я. Шубрт // Украинский химический журнал. — 2010. — Т. 76, № 6. — С. 77-81. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Методом химического осаждения из газовой фазы β-дикетонатов индия и никеля получены покрытия их оксидов на кремниевых подложках. Анализ с помощью сканирующей электронной микроскопии и электронной микроскопии высокого разрешения показывает, что в результате осаждения образуются хорошо структурированн...