The influence of ethylene glycol on the chemical interaction of PbTe and Pb₁₋ₓSnₓTe crystals with H₂O₂–HBr–ethylene glycol etching compositions
The process of cutting, mechanical and chemical treatment of the PbTe and Pb₁₋ₓSnₓTe crystal surface has been studied. The dependences of the chemical-mechanical polishing rate versus dilution of the base polishing etchant H₂O₂–HBr–ethylene glycol by the ethylene glycol have been determined. The sur...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2017
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/214906 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The influence of ethylene glycol on the chemical interaction of PbTe and Pb₁₋ₓSnₓTe crystals with H₂O₂–HBr–ethylene glycol etching compositions / G.P. Malanych, V.M. Tomashyk, O.S. Lytvyn // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2017. — Т. 20, № 1. — С. 91-95. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |