The influence of physical and technological magnetron sputtering modes on the structure and optical properties of CdS and CdTe films
To create technology for the preparation of CdS and CdTe thin films by direct current magnetron sputtering, the influence of physical and technological condensation modes on the crystal structure and optical properties of these films was investigated. The laboratory method of DC magnetron sputtering...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2017
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/214920 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The influence of physical and technological magnetron sputtering modes on the structure and optical properties of CdS and CdTe films / G.S. Khrypunov, G.I. Kopach, M.M. Harchenko, A.І. Dobrozhan // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2017. — Т. 20, № 2. — С. 262-267. — Бібліогр.: 10 назв. — англ. |