Peculiarities of nanocrystalline silicon films growth on porous anodic alumina surface
The influence of porous alumina template morphology on silicon film growth during deposition by PE CVD has been investigated. As it was shown, the structural properties of silicon phases depend on the pore geometry and surface morphology of the anodized porous alumina substrate. In the case of porou...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2017 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2017
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/214950 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Peculiarities of nanocrystalline silicon films growth on porous anodic alumina surface / P.V. Parfenyuk, A.A. Evtukh, I.M. Korobchuk, V.I. Glotov, V.V. Strelchuk // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2017. — Т. 20, № 3. — С. 330-334. — Бібліогр.: 19 назв. — англ. |