Effect of the diffusion temperature on the interaction of clusters with impurity atoms in silicon
In this paper, the results of studies of the effect of the diffusion temperature on the interaction of clusters of manganese atoms with the sulfur ones have been presented. It has been shown that the electrical parameters of the samples simultaneously doped with sulfur and manganese completely coinc...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2021 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2021
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/216102 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Effect of the diffusion temperature on the interaction of clusters with impurity atoms in silicon / Z.M. Saparniyazova, K.A. Ismailov, A.K. Uteniyazov, Kh.U. Kamalov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2021. — Т. 24, № 1. — С. 22-25. — Бібліогр.: 6 назв. — англ. |