Phase transition in vanadium oxide films formed by multistep deposition
VOₓ films deposited using the multistep method have been investigated. These films were prepared by repeating the two-stage method of low-temperature deposition and low-temperature annealing. The structure and characteristics of VOₓ thin films have been studied. Taking into account the obtained resu...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics |
|---|---|
| Дата: | 2021 |
| Автори: | , , , , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2021
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/216302 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Phase transition in vanadium oxide films formed by multistep deposition / V.P. Kladko, V.P. Melnik, О.I. Liubchenko, B.M. Romanyuk, О.Yo. Gudymenko, Т.M. Sabov, О.V. Dubikovskyi, Z.V. Maksimenko, О.V. Kosulya, O.A. Kulbachynskyi, P.M. Lytvyn, О.O. Efremov // Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2021. — Т. 24, № 4. — С. 362-371. — Бібліогр.: 38 назв. — англ. |