Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі
Сформульовані початково-крайові задачі, які моделюють процеси дифузійної обробки напівпровідникових пластин з урахуванням впливу механічних напружень, зумовлених неоднорідним розподілом домішкових атомів у ґратці. Розроблено алгоритм розв’язування сформульованих нелінійних задач із використанням аси...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Фізико-математичне моделювання та інформаційні технології |
|---|---|
| Datum: | 2010 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Центр математичного моделювання Інституту прикладних проблем механіки і математики ім. Я.С. Підстригача НАН України
2010
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/22395 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі / О. Фльорко // Фіз.-мат. моделювання та інформ. технології. — 2010. — Вип. 11. — С. 200-209. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |