Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі
Сформульовані початково-крайові задачі, які моделюють процеси дифузійної обробки напівпровідникових пластин з урахуванням впливу механічних напружень, зумовлених неоднорідним розподілом домішкових атомів у ґратці. Розроблено алгоритм розв’язування сформульованих нелінійних задач із використанням аси...
Saved in:
| Published in: | Фізико-математичне моделювання та інформаційні технології |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Центр математичного моделювання Інституту прикладних проблем механіки і математики ім. Я.С. Підстригача НАН України
2010
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/22395 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі / О. Фльорко // Фіз.-мат. моделювання та інформ. технології. — 2010. — Вип. 11. — С. 200-209. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862707749697093632 |
|---|---|
| author | Фльорко, О. |
| author_facet | Фльорко, О. |
| citation_txt | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі / О. Фльорко // Фіз.-мат. моделювання та інформ. технології. — 2010. — Вип. 11. — С. 200-209. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Фізико-математичне моделювання та інформаційні технології |
| description | Сформульовані початково-крайові задачі, які моделюють процеси дифузійної обробки напівпровідникових пластин з урахуванням впливу механічних напружень, зумовлених неоднорідним розподілом домішкових атомів у ґратці. Розроблено алгоритм розв’язування сформульованих нелінійних задач із використанням асимптотичного розвинення розв’язку за малим параметром. У рамках розробленої моделі досліджено кінетику дифузійного насичення та напруженого стану пластини кремнію за ізотермічного легування атомами бору.
Processes of diffusion treatment of semiconductor wafers with accounting of mechanical stresses caused by inhomogeneous distributions of the impurity atoms in the crystal lattice have been considered in the paper. Nonlinear boundary-value problems which model these processes have been formulated and an algorithm for their solving has been developed. The algorithm is based on the asymptotic expansion of the solution by a small parameter. Kinetics of diffusion saturation by boron and stress state of monocrystalline silicon wafer have been studied in the frame of developed model.
Сформулированы нелинейные краевые задачи, моделирующие процессы диффузионной обработки полупроводниковых пластин с учетом влияния механических напряжений, обусловленных неоднородным распределением примесных атомов в решетке. Разработан алгоритм решения сформулированных задач с использованием асимптотического разложения искомого решения по малому параметру. В рамках разработанной модели исследована кинетика диффузионного насыщения и напряженного состояния пластины монокристаллического кремния при изотермическом легировании его атомами бора.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:06:59Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-22395 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1816-1545 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:06:59Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Центр математичного моделювання Інституту прикладних проблем механіки і математики ім. Я.С. Підстригача НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Фльорко, О. 2011-06-21T22:19:52Z 2011-06-21T22:19:52Z 2010 Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі / О. Фльорко // Фіз.-мат. моделювання та інформ. технології. — 2010. — Вип. 11. — С. 200-209. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. 1816-1545 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/22395 539.2 Сформульовані початково-крайові задачі, які моделюють процеси дифузійної обробки напівпровідникових пластин з урахуванням впливу механічних напружень, зумовлених неоднорідним розподілом домішкових атомів у ґратці. Розроблено алгоритм розв’язування сформульованих нелінійних задач із використанням асимптотичного розвинення розв’язку за малим параметром. У рамках розробленої моделі досліджено кінетику дифузійного насичення та напруженого стану пластини кремнію за ізотермічного легування атомами бору. Processes of diffusion treatment of semiconductor wafers with accounting of mechanical stresses caused by inhomogeneous distributions of the impurity atoms in the crystal lattice have been considered in the paper. Nonlinear boundary-value problems which model these processes have been formulated and an algorithm for their solving has been developed. The algorithm is based on the asymptotic expansion of the solution by a small parameter. Kinetics of diffusion saturation by boron and stress state of monocrystalline silicon wafer have been studied in the frame of developed model. Сформулированы нелинейные краевые задачи, моделирующие процессы диффузионной обработки полупроводниковых пластин с учетом влияния механических напряжений, обусловленных неоднородным распределением примесных атомов в решетке. Разработан алгоритм решения сформулированных задач с использованием асимптотического разложения искомого решения по малому параметру. В рамках разработанной модели исследована кинетика диффузионного насыщения и напряженного состояния пластины монокристаллического кремния при изотермическом легировании его атомами бора. uk Центр математичного моделювання Інституту прикладних проблем механіки і математики ім. Я.С. Підстригача НАН України Фізико-математичне моделювання та інформаційні технології Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі Study of nonlinear impurity diffusion in a semiconductor layer Исследование нелинейной диффузии примеси в полупроводниковом слое Article published earlier |
| spellingShingle | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі Фльорко, О. |
| title | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі |
| title_alt | Study of nonlinear impurity diffusion in a semiconductor layer Исследование нелинейной диффузии примеси в полупроводниковом слое |
| title_full | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі |
| title_fullStr | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі |
| title_full_unstemmed | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі |
| title_short | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі |
| title_sort | дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/22395 |
| work_keys_str_mv | AT flʹorkoo doslídžennânelíníinoídifuzíídomíškiudeformívnomunapívprovídnikovomušarí AT flʹorkoo studyofnonlinearimpuritydiffusioninasemiconductorlayer AT flʹorkoo issledovanienelineinoidiffuziiprimesivpoluprovodnikovomsloe |