Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі
Сформульовані початково-крайові задачі, які моделюють процеси дифузійної обробки напівпровідникових пластин з урахуванням впливу механічних напружень, зумовлених неоднорідним розподілом домішкових атомів у ґратці. Розроблено алгоритм розв’язування сформульованих нелінійних задач із використанням аси...
Saved in:
| Published in: | Фізико-математичне моделювання та інформаційні технології |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Центр математичного моделювання Інституту прикладних проблем механіки і математики ім. Я.С. Підстригача НАН України
2010
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/22395 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі / О. Фльорко // Фіз.-мат. моделювання та інформ. технології. — 2010. — Вип. 11. — С. 200-209. — Бібліогр.: 11 назв. — укр. |