Cover Image

Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі

Сформульовані початково-крайові задачі, які моделюють процеси дифузійної обробки напівпровідникових пластин з урахуванням впливу механічних напружень, зумовлених неоднорідним розподілом домішкових атомів у ґратці. Розроблено алгоритм розв’язування сформульованих нелінійних задач із використанням аси...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Фізико-математичне моделювання та інформаційні технології
Date:2010
Main Author: Фльорко, О.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Центр математичного моделювання Інституту прикладних проблем механіки і математики ім. Я.С. Підстригача НАН України 2010
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/22395
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Дослідження нелінійної дифузії домішки у деформівному напівпровідниковому шарі / О. Фльорко // Фіз.-мат. моделювання та інформ. технології. — 2010. — Вип. 11. — С. 200-209. — Бібліогр.: 11 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items