Ионный инжектор полевого типа

• Published in: Наука та інновації
• Date: 2010
• Main Authors: Возный, В.И., Сторижко, В.Е., Мирошниченко, В.И., Токмань, В.В., Миронец, Е.А., Батура, Е.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2010
• Subjects: Наукові основи інноваційної діяльності
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28141
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионног...