Ионный инжектор полевого типа

• Published in: Наука та інновації
• Date: 2010
• Main Authors: Возный, В.И., Сторижко, В.Е., Мирошниченко, В.И., Токмань, В.В., Миронец, Е.А., Батура, Е.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Видавничий дім "Академперіодика" НАН України 2010
• Subjects: Наукові основи інноваційної діяльності
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28141
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионного источника игольчато-капиллярного типа, фокусирующей одиночной линзы и компактного фильтра Вина на постоянных магнитах. Конструкция полевого источника предусматривает возможность охлаждения вольфрамовой иглы до температуры жидкого азота. В настоящее время измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ) ионного источника, работающего при комнатной температуре. Получен полевой ионный ток (1—5) • 10⁻¹² А при напряжении экстракции 2—5 кВ. З метою підвищення роздільної здатності установок з фокусованими іонними пучками розроблено іонний інжектор польового типу. Вимірювання параметрів інжектора проводяться на високовакуумному стенді з тиском залишкових газів на рівні 5 • 10⁻⁷ Па. Іонний інжектор складається з газового польового іонного джерела голчатокапілярного типу, фокусної одиночної лінзи та компактного фільтра Віна на постійних магнітах. Конструкція польового джерела передбачає можливість охолодження вольфрамової голки до температури рідкого азоту. В даний час виміряні ВАХ іонного джерела, що працює при кімнатній температурі. Отримано польовий іонний струм (1—5) • 10⁻¹² A при напрузі екстракції 2—5 кВ. To improve the spatial resolution of FIB systems, field type ion injector has been developed. Measurements of the injector parameters are performed on the high-vacuum stand with a residual pressure about 5 • 10⁻⁷ Pa. Ion injector consists of a needle-in-capillary type gas field ion source, focusing einzel lens and compact Wien filter with permanent magnets. The field ion source design provides the possibility of cooling the tungsten needle to a liquid nitrogen temperature. Current voltage characteristics of the ion source operating at room temperature have been measured. Ion field emission current up to (1—5) • 10⁻¹² A at 2—5 kV emission voltage is obtained.