Ионный инжектор полевого типа
С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионног...
Saved in:
| Published in: | Наука та інновації |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28141 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862750715177336832 |
|---|---|
| author | Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. |
| author_facet | Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. |
| citation_txt | Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Наука та інновації |
| description | С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионного источника игольчато-капиллярного типа, фокусирующей одиночной линзы и компактного фильтра Вина на постоянных магнитах. Конструкция полевого источника предусматривает возможность охлаждения вольфрамовой иглы до температуры жидкого азота. В настоящее время измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ) ионного источника, работающего при комнатной температуре. Получен полевой ионный ток (1—5) • 10⁻¹² А при напряжении экстракции 2—5 кВ.
З метою підвищення роздільної здатності установок з фокусованими іонними пучками розроблено іонний інжектор польового типу. Вимірювання параметрів інжектора проводяться на високовакуумному стенді з тиском залишкових газів на рівні 5 • 10⁻⁷ Па. Іонний інжектор складається з газового польового іонного джерела голчатокапілярного типу, фокусної одиночної лінзи та компактного фільтра Віна на постійних магнітах. Конструкція польового джерела передбачає можливість охолодження вольфрамової голки до температури рідкого азоту. В даний час виміряні ВАХ іонного джерела, що працює при кімнатній температурі. Отримано польовий іонний струм (1—5) • 10⁻¹² A при напрузі екстракції 2—5 кВ.
To improve the spatial resolution of FIB systems, field type ion injector has been developed. Measurements of the injector parameters are performed on the high-vacuum stand with a residual pressure about 5 • 10⁻⁷ Pa. Ion injector consists of a needle-in-capillary type gas field ion source, focusing einzel lens and compact Wien filter with permanent magnets. The field ion source design provides the possibility of cooling the tungsten needle to a liquid nitrogen temperature. Current voltage characteristics of the ion source operating at room temperature have been measured. Ion field emission current up to (1—5) • 10⁻¹² A at 2—5 kV emission voltage is obtained.
|
| first_indexed | 2025-12-07T21:07:10Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-28141 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1815-2066 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T21:07:10Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Видавничий дім "Академперіодика" НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. 2011-10-29T14:34:31Z 2011-10-29T14:34:31Z 2010 Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос. 1815-2066 DOI: doi.org/10.15407/scin6.05.072 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28141 С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10⁻⁷ Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионного источника игольчато-капиллярного типа, фокусирующей одиночной линзы и компактного фильтра Вина на постоянных магнитах. Конструкция полевого источника предусматривает возможность охлаждения вольфрамовой иглы до температуры жидкого азота. В настоящее время измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ) ионного источника, работающего при комнатной температуре. Получен полевой ионный ток (1—5) • 10⁻¹² А при напряжении экстракции 2—5 кВ. З метою підвищення роздільної здатності установок з фокусованими іонними пучками розроблено іонний інжектор польового типу. Вимірювання параметрів інжектора проводяться на високовакуумному стенді з тиском залишкових газів на рівні 5 • 10⁻⁷ Па. Іонний інжектор складається з газового польового іонного джерела голчатокапілярного типу, фокусної одиночної лінзи та компактного фільтра Віна на постійних магнітах. Конструкція польового джерела передбачає можливість охолодження вольфрамової голки до температури рідкого азоту. В даний час виміряні ВАХ іонного джерела, що працює при кімнатній температурі. Отримано польовий іонний струм (1—5) • 10⁻¹² A при напрузі екстракції 2—5 кВ. To improve the spatial resolution of FIB systems, field type ion injector has been developed. Measurements of the injector parameters are performed on the high-vacuum stand with a residual pressure about 5 • 10⁻⁷ Pa. Ion injector consists of a needle-in-capillary type gas field ion source, focusing einzel lens and compact Wien filter with permanent magnets. The field ion source design provides the possibility of cooling the tungsten needle to a liquid nitrogen temperature. Current voltage characteristics of the ion source operating at room temperature have been measured. Ion field emission current up to (1—5) • 10⁻¹² A at 2—5 kV emission voltage is obtained. ru Видавничий дім "Академперіодика" НАН України Наука та інновації Наукові основи інноваційної діяльності Ионный инжектор полевого типа Іонний інжектор польового типу Field type ion injector Article published earlier |
| spellingShingle | Ионный инжектор полевого типа Возный, В.И. Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. Наукові основи інноваційної діяльності |
| title | Ионный инжектор полевого типа |
| title_alt | Іонний інжектор польового типу Field type ion injector |
| title_full | Ионный инжектор полевого типа |
| title_fullStr | Ионный инжектор полевого типа |
| title_full_unstemmed | Ионный инжектор полевого типа |
| title_short | Ионный инжектор полевого типа |
| title_sort | ионный инжектор полевого типа |
| topic | Наукові основи інноваційної діяльності |
| topic_facet | Наукові основи інноваційної діяльності |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/28141 |
| work_keys_str_mv | AT voznyivi ionnyiinžektorpolevogotipa AT storižkove ionnyiinžektorpolevogotipa AT mirošničenkovi ionnyiinžektorpolevogotipa AT tokmanʹvv ionnyiinžektorpolevogotipa AT mironecea ionnyiinžektorpolevogotipa AT baturaea ionnyiinžektorpolevogotipa AT voznyivi íonniiínžektorpolʹovogotipu AT storižkove íonniiínžektorpolʹovogotipu AT mirošničenkovi íonniiínžektorpolʹovogotipu AT tokmanʹvv íonniiínžektorpolʹovogotipu AT mironecea íonniiínžektorpolʹovogotipu AT baturaea íonniiínžektorpolʹovogotipu AT voznyivi fieldtypeioninjector AT storižkove fieldtypeioninjector AT mirošničenkovi fieldtypeioninjector AT tokmanʹvv fieldtypeioninjector AT mironecea fieldtypeioninjector AT baturaea fieldtypeioninjector |