Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію
Досліджено вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях. Influence of ion etching of surfaces of silicon plates on the principal parameters of photodiodes made on these surfaces is investigated....
Saved in:
| Published in: | Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
|---|---|
| Date: | 2009 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32230 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію / В.Г. Житарюк, В.М. Годованюк, І.В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2009. — № 1 (17). — С. 137-140. — Бібліогр.: 4 назв. — укp. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862547835517403136 |
|---|---|
| author | Житарюк, В.Г. Годованюк, В.М. Докторович, І.В. |
| author_facet | Житарюк, В.Г. Годованюк, В.М. Докторович, І.В. |
| citation_txt | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію / В.Г. Житарюк, В.М. Годованюк, І.В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2009. — № 1 (17). — С. 137-140. — Бібліогр.: 4 назв. — укp. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології |
| description | Досліджено вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях.
Influence of ion etching of surfaces of silicon plates on the principal parameters of photodiodes made on these surfaces is investigated.
|
| first_indexed | 2025-11-25T16:58:20Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-32230 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1681-7893 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-25T16:58:20Z |
| publishDate | 2009 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Житарюк, В.Г. Годованюк, В.М. Докторович, І.В. 2012-04-14T19:38:19Z 2012-04-14T19:38:19Z 2009 Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію / В.Г. Житарюк, В.М. Годованюк, І.В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2009. — № 1 (17). — С. 137-140. — Бібліогр.: 4 назв. — укp. 1681-7893 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32230 537.611 Досліджено вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях. Influence of ion etching of surfaces of silicon plates on the principal parameters of photodiodes made on these surfaces is investigated. uk Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію Article published earlier |
| spellingShingle | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію Житарюк, В.Г. Годованюк, В.М. Докторович, І.В. Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях |
| title | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_full | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_fullStr | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_full_unstemmed | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_short | Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| title_sort | фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію |
| topic | Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях |
| topic_facet | Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/32230 |
| work_keys_str_mv | AT žitarûkvg fotoelektričnívlastivostípriimačívvipromínûvannâvigotovlenihnaíonnotravlenihpoverhnâhkremníû AT godovanûkvm fotoelektričnívlastivostípriimačívvipromínûvannâvigotovlenihnaíonnotravlenihpoverhnâhkremníû AT doktorovičív fotoelektričnívlastivostípriimačívvipromínûvannâvigotovlenihnaíonnotravlenihpoverhnâhkremníû |