Прямий метод формування поверхневих рельєфних ґраток у плівках халькогенідних стекол

• Published in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Date: 2010
• Main Authors: Рубіш, В.М., Трунов, М.Л., Литвин, П.М., Гера, Е.В., Тарнай, А.А., Риган, М.Ю., Петраченко, М.Є.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2010
• Subjects: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50448
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Прямий метод формування поверхневих рельєфних ґраток у плівках халькогенідних стекол / В.М. Рубіш, М.Л. Трунов, П.М. Литвин, Е.В. Гера, А.А. Тарнай, М.Ю. Риган, М.Є. Петраченко // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2010. — Т. 12, № 2. — С. 43-51. — Бібліогр.: 18 назв. — укр.

Методом атомно-силової мікроскопії досліджено кінетику росту поверхневих рельєфів у плівках бінарних халькогенідних систем. Визначено оптимальні склади плівок і режими запису поверхневих рельєфних ґраток. Обговорюється механізм формування рельєфу. Методом атомно-силовой микроскопии исследована кинетика роста поверхностных рельефов в пленках бинарных халькогенидных систем. Определены оптимальные составы пленок и режимы записи поверхностных рельефных решеток. Обсуждается механизм формирования рельефа. Kinetics of the growth of surface relief in binary chalcogenide systems films by atomic-force microscopy technique is investigated. The optimal film compositions and the recording modes of surface relief gratings are determined. The mechanism of relief forming is discussed.