Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерног...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Реєстрація, зберігання і обробка даних
Datum:2012
Hauptverfasser: Крючин, А.А., Рубіш, В.М., Костюкевич, С.О., Мінько, В.І., Шепелявий, П.Є., Лисюк, В.О., Костюкевич, К.В., Сурмач, М.А.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012
Schlagworte:
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50580
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-50580
record_format dspace
spelling Крючин, А.А.
Рубіш, В.М.
Костюкевич, С.О.
Мінько, В.І.
Шепелявий, П.Є.
Лисюк, В.О.
Костюкевич, К.В.
Сурмач, М.А.
2013-10-23T23:51:29Z
2013-10-23T23:51:29Z
2012
Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.
1560-9189
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50580
004.85
Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах.
The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented.
Автори висловлюють глибоку вдячність співробітникам Інститутів проблем реєстрації інформації і фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України за допомогу у виготовленні зразків носіїв інформації, здійснення запису інформації та обробки носіїв, а також за плідне обговорення результатів досліджень.
uk
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
Реєстрація, зберігання і обробка даних
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
Registration Materials for Laser Thermolithography
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
spellingShingle Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
Крючин, А.А.
Рубіш, В.М.
Костюкевич, С.О.
Мінько, В.І.
Шепелявий, П.Є.
Лисюк, В.О.
Костюкевич, К.В.
Сурмач, М.А.
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
title_short Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
title_full Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
title_fullStr Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
title_full_unstemmed Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
title_sort реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
author Крючин, А.А.
Рубіш, В.М.
Костюкевич, С.О.
Мінько, В.І.
Шепелявий, П.Є.
Лисюк, В.О.
Костюкевич, К.В.
Сурмач, М.А.
author_facet Крючин, А.А.
Рубіш, В.М.
Костюкевич, С.О.
Мінько, В.І.
Шепелявий, П.Є.
Лисюк, В.О.
Костюкевич, К.В.
Сурмач, М.А.
topic Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
topic_facet Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
publishDate 2012
language Ukrainian
container_title Реєстрація, зберігання і обробка даних
publisher Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
format Article
title_alt Registration Materials for Laser Thermolithography
description Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах. The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented.
issn 1560-9189
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50580
citation_txt Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.
work_keys_str_mv AT krûčinaa reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
AT rubíšvm reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
AT kostûkevičso reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
AT mínʹkoví reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
AT šepelâviipê reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
AT lisûkvo reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
AT kostûkevičkv reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
AT surmačma reêstruvalʹnímateríalidlâlazernoítermolítografíí
AT krûčinaa registrationmaterialsforlaserthermolithography
AT rubíšvm registrationmaterialsforlaserthermolithography
AT kostûkevičso registrationmaterialsforlaserthermolithography
AT mínʹkoví registrationmaterialsforlaserthermolithography
AT šepelâviipê registrationmaterialsforlaserthermolithography
AT lisûkvo registrationmaterialsforlaserthermolithography
AT kostûkevičkv registrationmaterialsforlaserthermolithography
AT surmačma registrationmaterialsforlaserthermolithography
first_indexed 2025-12-07T18:55:17Z
last_indexed 2025-12-07T18:55:17Z
_version_ 1850876853026291712

Ähnliche Einträge