Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерног...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Реєстрація, зберігання і обробка даних
Date:2012
Main Authors: Крючин, А.А., Рубіш, В.М., Костюкевич, С.О., Мінько, В.І., Шепелявий, П.Є., Лисюк, В.О., Костюкевич, К.В., Сурмач, М.А.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2012
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50580
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine