Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists

• Veröffentlicht in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Datum: 2005
• Hauptverfasser: Morozovska, A.N., Kostyukevych, S.A.
• Format: Artikel
• Sprache: Englisch
• Veröffentlicht: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2005
• Schlagworte: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50773
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists / A.N. Morozovska, S.A. Kostyukevych // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2005. — Т. 7, № 3. — С. 3-16. — Бібліогр.: 13 назв. — англ.

Theoretical consideration and computer modeling of information pit recording and etching processes in chalcogenide vitreous semiconductors are proposed, namely we demonstrate how to record and develop information pits with the necessary shape and sizes in the inorganic resist using focused Gaussian...