Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электр...
Saved in:
| Published in: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|---|---|
| Date: | 2006 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2006
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50836 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862722963144441856 |
|---|---|
| author | Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В. |
| author_facet | Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В. |
| citation_txt | Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| description | Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии.
Розглянуто можливість одержання рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках. Показано, що отримані рельєфні мікроструктури можуть бути використані для запису, тиражування й зберігання інформації як у цифровому, так і в аналоговому виді. Для одержання мікроструктур використано спосіб електронно-променевої літографії.
An opportunity of obtaining relief microstructures on silicon substrates is considered. It is shown that obtained relief microstructures can be used for recording, replication and information storage both in digital and analog form. For obtaining microstructures an electron-beam lithography technique is used.
|
| first_indexed | 2025-12-07T18:38:32Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-50836 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1560-9189 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T18:38:32Z |
| publishDate | 2006 |
| publisher | Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В. 2013-11-04T21:08:31Z 2013-11-04T21:08:31Z 2006 Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос. 1560-9189 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50836 004.85 Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии. Розглянуто можливість одержання рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках. Показано, що отримані рельєфні мікроструктури можуть бути використані для запису, тиражування й зберігання інформації як у цифровому, так і в аналоговому виді. Для одержання мікроструктур використано спосіб електронно-променевої літографії. An opportunity of obtaining relief microstructures on silicon substrates is considered. It is shown that obtained relief microstructures can be used for recording, replication and information storage both in digital and analog form. For obtaining microstructures an electron-beam lithography technique is used. Коллектив авторов благодарит старших научных сотрудников ИФП НАН Украины О. Литвин и П. Литвина за многолетнюю плодотворную работу по анализу рельефных микроструктур, осуществленную и в представленной статье. ru Інститут проблем реєстрації інформації НАН України Реєстрація, зберігання і обробка даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках Формування рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках Formation of Relief Microstructures on Silicon Substrates Article published earlier |
| spellingShingle | Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В. Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| title | Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках |
| title_alt | Формування рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках Formation of Relief Microstructures on Silicon Substrates |
| title_full | Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках |
| title_fullStr | Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках |
| title_full_unstemmed | Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках |
| title_short | Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках |
| title_sort | формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках |
| topic | Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| topic_facet | Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50836 |
| work_keys_str_mv | AT kosskoia formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT krûčinaa formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT pankratovaav formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT koržinskiifi formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT seredald formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT seredaiv formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT kosskoia formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT krûčinaa formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT pankratovaav formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT koržinskiifi formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT seredald formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT seredaiv formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT kosskoia formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT krûčinaa formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT pankratovaav formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT koržinskiifi formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT seredald formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT seredaiv formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates |