Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электр...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Реєстрація, зберігання і обробка даних
Дата:	2006
Автори:	Косско, И.А., Крючин, А.А., Панкратова, А.В., Коржинский, Ф.И., Середа, Л.Д., Середа, И.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2006
Теми:	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50836
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-50836
record_format	dspace
spelling	Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В. 2013-11-04T21:08:31Z 2013-11-04T21:08:31Z 2006 Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос. 1560-9189 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50836 004.85 Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии. Розглянуто можливість одержання рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках. Показано, що отримані рельєфні мікроструктури можуть бути використані для запису, тиражування й зберігання інформації як у цифровому, так і в аналоговому виді. Для одержання мікроструктур використано спосіб електронно-променевої літографії. An opportunity of obtaining relief microstructures on silicon substrates is considered. It is shown that obtained relief microstructures can be used for recording, replication and information storage both in digital and analog form. For obtaining microstructures an electron-beam lithography technique is used. Коллектив авторов благодарит старших научных сотрудников ИФП НАН Украины О. Литвин и П. Литвина за многолетнюю плодотворную работу по анализу рельефных микроструктур, осуществленную и в представленной статье. ru Інститут проблем реєстрації інформації НАН України Реєстрація, зберігання і обробка даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках Формування рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках Formation of Relief Microstructures on Silicon Substrates Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
spellingShingle	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В. Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
title_short	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_full	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_fullStr	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_full_unstemmed	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
title_sort	формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках
author	Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В.
author_facet	Косско, И.А. Крючин, А.А. Панкратова, А.В. Коржинский, Ф.И. Середа, Л.Д. Середа, И.В.
topic	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
topic_facet	Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
publishDate	2006
language	Russian
container_title	Реєстрація, зберігання і обробка даних
publisher	Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
format	Article
title_alt	Формування рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках Formation of Relief Microstructures on Silicon Substrates
description	Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии. Розглянуто можливість одержання рельєфних мікроструктур на кремнієвих підкладках. Показано, що отримані рельєфні мікроструктури можуть бути використані для запису, тиражування й зберігання інформації як у цифровому, так і в аналоговому виді. Для одержання мікроструктур використано спосіб електронно-променевої літографії. An opportunity of obtaining relief microstructures on silicon substrates is considered. It is shown that obtained relief microstructures can be used for recording, replication and information storage both in digital and analog form. For obtaining microstructures an electron-beam lithography technique is used.
issn	1560-9189
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50836
citation_txt	Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос.
work_keys_str_mv	AT kosskoia formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT krûčinaa formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT pankratovaav formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT koržinskiifi formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT seredald formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT seredaiv formirovanierelʹefnyhmikrostrukturnakremnievyhpodložkah AT kosskoia formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT krûčinaa formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT pankratovaav formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT koržinskiifi formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT seredald formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT seredaiv formuvannârelʹêfnihmíkrostrukturnakremníêvihpídkladkah AT kosskoia formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT krûčinaa formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT pankratovaav formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT koržinskiifi formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT seredald formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates AT seredaiv formationofreliefmicrostructuresonsiliconsubstrates
first_indexed	2025-12-07T18:38:32Z
last_indexed	2025-12-07T18:38:32Z
_version_	1850875799219994624

Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

Репозитарії

Схожі ресурси