Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках

• Опубліковано в: : Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Дата: 2006
• Автори: Косско, И.А., Крючин, А.А., Панкратова, А.В., Коржинский, Ф.И., Середа, Л.Д., Середа, И.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2006
• Теми: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50836
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И.А. Косско, А.А. Крючин, А.В. Панкратова, Ф.И. Коржинский, Л.Д. Середа, И.В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 2. — С. 6-14. — Бібліогр.: 12 назв. — pос.

Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур на кремниевых подложках. Показано, что полученные рельефные микроструктуры могут быть использованы для записи, тиражирования и хранения информации, как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электр...