Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазо...
Gespeichert in:
| Datum: | 2012 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2012
|
| Schriftenreihe: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51721 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-517212025-02-09T12:23:47Z Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния Високотемпературні датчики тиску з тензорезисторами на основі ниткоподібних кристалів кремнію High-temperature pressure sensors with strain gauges based on silicon whiskers Дружинин, А.А. Кутраков, А.П. Марьямова, И.И. Сенсоэлектроника Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации. Проведено дослідження, спрямовані на створення тензорезистивних датчиків тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію, працездатних при високих температурах. Використання склоприпою для кріплення тензорезисторів на пружних елементах датчиків з коварового сплаву дозволило підвищити діапазон робочих температур датчиків. Па основі запропонованої тензомодульної конструкції розроблено датчики тиску різної модифікації. Studies aimed at the creating of piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers, operating at high temperatures were carried out. Using the glass adhesive for strain gauges mounting on spring elements of covar alloy gave the possibility to elevate the sensor’s operating temperature range. Several modifications of pressure sensors based on the proposed strain-unit design were developed. 2012 Article Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721 621.315.592 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре application/pdf Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника |
| spellingShingle |
Сенсоэлектроника Сенсоэлектроника Дружинин, А.А. Кутраков, А.П. Марьямова, И.И. Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов на упругих элементах датчиков из коварового сплава позволило новысить диапазон рабочих температур датчиков. Па основе предложенной тензомодульной конструкции разработаны датчики давления различной модификации. |
| format |
Article |
| author |
Дружинин, А.А. Кутраков, А.П. Марьямова, И.И. |
| author_facet |
Дружинин, А.А. Кутраков, А.П. Марьямова, И.И. |
| author_sort |
Дружинин, А.А. |
| title |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_short |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_full |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_fullStr |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_full_unstemmed |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| title_sort |
высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2012 |
| topic_facet |
Сенсоэлектроника |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51721 |
| citation_txt |
Высокотемпературные датчики давления с тензорезисторами на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, И.И. Марьямова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 6. — С. 25-28. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT družininaa vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ AT kutrakovap vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ AT marʹâmovaii vysokotemperaturnyedatčikidavleniâstenzorezistoraminaosnovenitevidnyhkristallovkremniâ AT družininaa visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû AT kutrakovap visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû AT marʹâmovaii visokotemperaturnídatčikitiskuztenzorezistoraminaosnovínitkopodíbnihkristalívkremníû AT družininaa hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers AT kutrakovap hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers AT marʹâmovaii hightemperaturepressuresensorswithstraingaugesbasedonsiliconwhiskers |
| first_indexed |
2025-11-25T23:50:44Z |
| last_indexed |
2025-11-25T23:50:44Z |
| _version_ |
1849808277864448000 |