Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками

• Veröffentlicht in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Datum: 2013
• Hauptverfasser: Максименко, Л.С., Мищук, О.Н., Матяш, И.Е., Сердега, Б.К., Костин, Е.Г., Полозов, Б.П., Федорович, О.А., Савинков, Г.К.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2013
• Schlagworte: Функциональная микро- и наноэлектроника
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51734
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками / Л.С. Максименко, О.Н. Мищу, И.Е. Матяш, Б.К. Сердега, Е.Г. Костин, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Г.К. Савинков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Исследованы алмазоподобные пленки, специально приготовленные при различных технологических условиях. Введен параметр ρ, называемый поляризационной разностью. Из спектральных характеристик параметра ρ обнаружено, что взаимодействие электромагнитного излучения с электронной системой образцов, которое происходит в используемом спектральном диапазоне, состоит из двух поверхностных резонансов — локального и поляритонного, различающихся частотой и временем релаксации. Сделан вывод о том, что соотношение амплитуд резонансов определяется структурными свойствами образцов, что свидетельствуют о перспективности метода модуляционной поляриметрии для диагностики структурной однородности композитных нанокластерных пленок. Досліджено алмазоподібні плівки, спеціально приготовані за різних технологічних умов. Запропоновано параметр ρ, що названо поляризаційною різницею. Із спектральних характеристик параметру ρ виявлено, що взаємодія електромагнітного випромінювання з електронною системою зразків, яке відбувається у використовуваному спектральному діапазоні, складається з двох поверхневих резонансів локального та поляритонного, що різняться частотою та часом релаксації. Зроблено висновок, що співвідношення амплітуд резонансу визначається структурними властивостями зразків, що свідчить про перспективність методу модуляційної поляриметрії для діагностики структурної однорідності композитних нанокластерних плівок. This article presents research results on diamond-like films produced under different technological conditions. The parameter ρ — polarization difference — has been introduced. It has been found from spectral features of the parameter ρ that the interaction of electromagnetic radiation with the electronic system of specimens, which occurs in the used spectral range, consists of local and polariton surface resonances, differing in frequencies and times of relaxations. The authors concluded that the correlation in resonance intensity is defined by the structural characteristics of the specimens. These results show that modulation polarimetrv is a perspective technique for diagnostics of the structural homogeneity of composite nanocluster films.