Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
Исследованы алмазоподобные пленки, специально приготовленные при различных технологических условиях. Введен параметр ρ, называемый поляризационной разностью. Из спектральных характеристик параметра ρ обнаружено, что взаимодействие электромагнитного излучения с электронной системой образцов, которое...
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51734 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками / Л.С. Максименко, О.Н. Мищу, И.Е. Матяш, Б.К. Сердега, Е.Г. Костин, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Г.К. Савинков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862696307360006144 |
|---|---|
| author | Максименко, Л.С. Мищук, О.Н. Матяш, И.Е. Сердега, Б.К. Костин, Е.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Савинков, Г.К. |
| author_facet | Максименко, Л.С. Мищук, О.Н. Матяш, И.Е. Сердега, Б.К. Костин, Е.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Савинков, Г.К. |
| citation_txt | Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками / Л.С. Максименко, О.Н. Мищу, И.Е. Матяш, Б.К. Сердега, Е.Г. Костин, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Г.К. Савинков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Исследованы алмазоподобные пленки, специально приготовленные при различных технологических условиях. Введен параметр ρ, называемый поляризационной разностью. Из спектральных характеристик параметра ρ обнаружено, что взаимодействие электромагнитного излучения с электронной системой образцов, которое происходит в используемом спектральном диапазоне, состоит из двух поверхностных резонансов — локального и поляритонного, различающихся частотой и временем релаксации. Сделан вывод о том, что соотношение амплитуд резонансов определяется структурными свойствами образцов, что свидетельствуют о перспективности метода модуляционной поляриметрии для диагностики структурной однородности композитных нанокластерных пленок.
Досліджено алмазоподібні плівки, спеціально приготовані за різних технологічних умов. Запропоновано параметр ρ, що названо поляризаційною різницею. Із спектральних характеристик параметру ρ виявлено, що взаємодія електромагнітного випромінювання з електронною системою зразків, яке відбувається у використовуваному спектральному діапазоні, складається з двох поверхневих резонансів локального та поляритонного, що різняться частотою та часом релаксації. Зроблено висновок, що співвідношення амплітуд резонансу визначається структурними властивостями зразків, що свідчить про перспективність методу модуляційної поляриметрії для діагностики структурної однорідності композитних нанокластерних плівок.
This article presents research results on diamond-like films produced under different technological conditions. The parameter ρ — polarization difference — has been introduced. It has been found from spectral features of the parameter ρ that the interaction of electromagnetic radiation with the electronic system of specimens, which occurs in the used spectral range, consists of local and polariton surface resonances, differing in frequencies and times of relaxations. The authors concluded that the correlation in resonance intensity is defined by the structural characteristics of the specimens. These results show that modulation polarimetrv is a perspective technique for diagnostics of the structural homogeneity of composite nanocluster films.
|
| first_indexed | 2025-12-07T16:26:51Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51734 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T16:26:51Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Максименко, Л.С. Мищук, О.Н. Матяш, И.Е. Сердега, Б.К. Костин, Е.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Савинков, Г.К. 2013-12-07T20:16:08Z 2013-12-07T20:16:08Z 2013 Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками / Л.С. Максименко, О.Н. Мищу, И.Е. Матяш, Б.К. Сердега, Е.Г. Костин, Б.П. Полозов, О.А. Федорович, Г.К. Савинков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 16 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51734 535.5 Исследованы алмазоподобные пленки, специально приготовленные при различных технологических условиях. Введен параметр ρ, называемый поляризационной разностью. Из спектральных характеристик параметра ρ обнаружено, что взаимодействие электромагнитного излучения с электронной системой образцов, которое происходит в используемом спектральном диапазоне, состоит из двух поверхностных резонансов — локального и поляритонного, различающихся частотой и временем релаксации. Сделан вывод о том, что соотношение амплитуд резонансов определяется структурными свойствами образцов, что свидетельствуют о перспективности метода модуляционной поляриметрии для диагностики структурной однородности композитных нанокластерных пленок. Досліджено алмазоподібні плівки, спеціально приготовані за різних технологічних умов. Запропоновано параметр ρ, що названо поляризаційною різницею. Із спектральних характеристик параметру ρ виявлено, що взаємодія електромагнітного випромінювання з електронною системою зразків, яке відбувається у використовуваному спектральному діапазоні, складається з двох поверхневих резонансів локального та поляритонного, що різняться частотою та часом релаксації. Зроблено висновок, що співвідношення амплітуд резонансу визначається структурними властивостями зразків, що свідчить про перспективність методу модуляційної поляриметрії для діагностики структурної однорідності композитних нанокластерних плівок. This article presents research results on diamond-like films produced under different technological conditions. The parameter ρ — polarization difference — has been introduced. It has been found from spectral features of the parameter ρ that the interaction of electromagnetic radiation with the electronic system of specimens, which occurs in the used spectral range, consists of local and polariton surface resonances, differing in frequencies and times of relaxations. The authors concluded that the correlation in resonance intensity is defined by the structural characteristics of the specimens. These results show that modulation polarimetrv is a perspective technique for diagnostics of the structural homogeneity of composite nanocluster films. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Функциональная микро- и наноэлектроника Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками Модуляцінна поляриметрія повного внутрішнього відбиття, порушеного алмазоподібними плівками Modulation polarimetry of full internal reflection, broken by diamond-like films Article published earlier |
| spellingShingle | Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками Максименко, Л.С. Мищук, О.Н. Матяш, И.Е. Сердега, Б.К. Костин, Е.Г. Полозов, Б.П. Федорович, О.А. Савинков, Г.К. Функциональная микро- и наноэлектроника |
| title | Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками |
| title_alt | Модуляцінна поляриметрія повного внутрішнього відбиття, порушеного алмазоподібними плівками Modulation polarimetry of full internal reflection, broken by diamond-like films |
| title_full | Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками |
| title_fullStr | Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками |
| title_full_unstemmed | Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками |
| title_short | Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками |
| title_sort | модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками |
| topic | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| topic_facet | Функциональная микро- и наноэлектроника |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51734 |
| work_keys_str_mv | AT maksimenkols modulâcionnaâpolârimetriâpolnogovnutrennegootraženiânarušennogoalmazopodobnymiplenkami AT miŝukon modulâcionnaâpolârimetriâpolnogovnutrennegootraženiânarušennogoalmazopodobnymiplenkami AT matâšie modulâcionnaâpolârimetriâpolnogovnutrennegootraženiânarušennogoalmazopodobnymiplenkami AT serdegabk modulâcionnaâpolârimetriâpolnogovnutrennegootraženiânarušennogoalmazopodobnymiplenkami AT kostineg modulâcionnaâpolârimetriâpolnogovnutrennegootraženiânarušennogoalmazopodobnymiplenkami AT polozovbp modulâcionnaâpolârimetriâpolnogovnutrennegootraženiânarušennogoalmazopodobnymiplenkami AT fedorovičoa modulâcionnaâpolârimetriâpolnogovnutrennegootraženiânarušennogoalmazopodobnymiplenkami AT savinkovgk modulâcionnaâpolârimetriâpolnogovnutrennegootraženiânarušennogoalmazopodobnymiplenkami AT maksimenkols modulâcínnapolârimetríâpovnogovnutríšnʹogovídbittâporušenogoalmazopodíbnimiplívkami AT miŝukon modulâcínnapolârimetríâpovnogovnutríšnʹogovídbittâporušenogoalmazopodíbnimiplívkami AT matâšie modulâcínnapolârimetríâpovnogovnutríšnʹogovídbittâporušenogoalmazopodíbnimiplívkami AT serdegabk modulâcínnapolârimetríâpovnogovnutríšnʹogovídbittâporušenogoalmazopodíbnimiplívkami AT kostineg modulâcínnapolârimetríâpovnogovnutríšnʹogovídbittâporušenogoalmazopodíbnimiplívkami AT polozovbp modulâcínnapolârimetríâpovnogovnutríšnʹogovídbittâporušenogoalmazopodíbnimiplívkami AT fedorovičoa modulâcínnapolârimetríâpovnogovnutríšnʹogovídbittâporušenogoalmazopodíbnimiplívkami AT savinkovgk modulâcínnapolârimetríâpovnogovnutríšnʹogovídbittâporušenogoalmazopodíbnimiplívkami AT maksimenkols modulationpolarimetryoffullinternalreflectionbrokenbydiamondlikefilms AT miŝukon modulationpolarimetryoffullinternalreflectionbrokenbydiamondlikefilms AT matâšie modulationpolarimetryoffullinternalreflectionbrokenbydiamondlikefilms AT serdegabk modulationpolarimetryoffullinternalreflectionbrokenbydiamondlikefilms AT kostineg modulationpolarimetryoffullinternalreflectionbrokenbydiamondlikefilms AT polozovbp modulationpolarimetryoffullinternalreflectionbrokenbydiamondlikefilms AT fedorovičoa modulationpolarimetryoffullinternalreflectionbrokenbydiamondlikefilms AT savinkovgk modulationpolarimetryoffullinternalreflectionbrokenbydiamondlikefilms |