Датчик скорости газового потока

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2011
• Main Authors: Годованюк, В.Н., Рюхтин, В.В., Михайличенко, Ю.С., Швец, А.Г., Шимановский, А.Б., Фединчук, И.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
• Subjects: Сенсоэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51831
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Датчик скорости газового потока / В.Н. Годованюк, В.В. Рюхтин, Ю.С. Михайличенко, А.Г. Швец, А.Б. Шимановский, И.И. Фединчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 4. — С. 15-19. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

В предложенной конструкции датчика используется связь между скоростью потоков газа и тепла внутри самого датчика. Разработана планарная технология изготовления датчика и методика измерений в диапазоне температур. Запропоновано конструкцію датчика швидкості газового потоку, у якій використовується зв...