Датчик скорости газового потока

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2011
• Main Authors: Годованюк, В.Н., Рюхтин, В.В., Михайличенко, Ю.С., Швец, А.Г., Шимановский, А.Б., Фединчук, И.И.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2011
• Subjects: Сенсоэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51831
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Датчик скорости газового потока / В.Н. Годованюк, В.В. Рюхтин, Ю.С. Михайличенко, А.Г. Швец, А.Б. Шимановский, И.И. Фединчук // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 4. — С. 15-19. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

В предложенной конструкции датчика используется связь между скоростью потоков газа и тепла внутри самого датчика. Разработана планарная технология изготовления датчика и методика измерений в диапазоне температур. Запропоновано конструкцію датчика швидкості газового потоку, у якій використовується зв'язок між швидкістю потоків газу і тепла всередині самого датчика. Таким чином забезпечується контроль витрат енергії на підтримання теплової рівноваги між двома терморезисторами, які перебувають у потоці газу при різних температурах. Описано групову планарну технологію виготовлення датчика та розроблену методику вимірювань в діапазоні температур. Наведена інформація дозволяє організувати виробництво дешевих надійних і точних датчиків вимірювання швидкості газовою потоку. The design of a gas speed flow transducer using the coupling of gas speed and heat streams within the transducer itself is proposed. To maintain the heat balance between two thermoresistors under gas stream at different temperatures, it provides energy consumption monitoring. The detailed combined planar technology for the transducer production is presented. The worked-out measurement procedure allows to make measurements in the temperature range. Information enough to organize production of cheap, reliable and precise gas speed flow transducers is given.