Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей
Проанализирована возможность использования многослойных толстопленочных структур планарного типа на основе манганатной и алюминатной шпинельной оксидной керамики в качестве интегральных сенсоров влажности и температуры....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2010 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51889 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей / Н.М. Вакив // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 1. — С. 32-34. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |