Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей
Проанализирована возможность использования многослойных толстопленочных структур планарного типа на основе манганатной и алюминатной шпинельной оксидной керамики в качестве интегральных сенсоров влажности и температуры....
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51889 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей / Н.М. Вакив // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 1. — С. 32-34. — Бібліогр.: 22 назв. — рос. |