Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей

• Published in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Date: 2010
• Main Author: Вакив, Н.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Subjects: Сенсоэлектроника
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51889
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей / Н.М. Вакив // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 1. — С. 32-34. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Проанализирована возможность использования многослойных толстопленочных структур планарного типа на основе манганатной и алюминатной шпинельной оксидной керамики в качестве интегральных сенсоров влажности и температуры....