Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей

• Veröffentlicht in: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Datum: 2010
• 1. Verfasser: Вакив, Н.М.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2010
• Schlagworte: Сенсоэлектроника
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51889
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Системы контроля-мониторинга температуры и влажности среды на основе толстых пленок оксишпинелей / Н.М. Вакив // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 1. — С. 32-34. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.

Проанализирована возможность использования многослойных толстопленочных структур планарного типа на основе манганатной и алюминатной шпинельной оксидной керамики в качестве интегральных сенсоров влажности и температуры....