Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники
Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой. Розглянуто два види металізації (Au, Ti) до матеріалу, що містить фулерен. Досліджено ефективність м...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51983 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862609237770764288 |
|---|---|
| author | Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. |
| author_facet | Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. |
| citation_txt | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description | Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой.
Розглянуто два види металізації (Au, Ti) до матеріалу, що містить фулерен. Досліджено ефективність мікрохвильоого відпалу полімер-фулеренового шару з обома металізаціями, та показано, що НВЧ-обробка знижує сумарний опір структури в обох випадках. Показано перспективність використання титанової металізації у порівнянні з золотою, та проаналізовано механізми, що обумовлюють якість титанової металізації.ѕ
Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be more promising than the gold one. The mechanisms responsible for titanium metallization quality are presented.
|
| first_indexed | 2025-11-28T18:14:23Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-51983 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 2225-5818 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-28T18:14:23Z |
| publishDate | 2010 |
| publisher | Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. 2013-12-22T00:54:49Z 2013-12-22T00:54:49Z 2010 Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. 2225-5818 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51983 Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой. Розглянуто два види металізації (Au, Ti) до матеріалу, що містить фулерен. Досліджено ефективність мікрохвильоого відпалу полімер-фулеренового шару з обома металізаціями, та показано, що НВЧ-обробка знижує сумарний опір структури в обох випадках. Показано перспективність використання титанової металізації у порівнянні з золотою, та проаналізовано механізми, що обумовлюють якість титанової металізації.ѕ Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be more promising than the gold one. The mechanisms responsible for titanium metallization quality are presented. ru Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України Технология и конструирование в электронной аппаратуре Технологические процессы и оборудование Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники Радіаційна технологія покращення омічних контактів до елементів електронної техніки Radiation technology for improvement of ohmic contacts to the electronic device elements Article published earlier |
| spellingShingle | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники Конакова, Р.В. Колядина, Е.Ю. Матвеева, Л.А Нелюба, П.Л. Шинкаренко, В.В. Технологические процессы и оборудование |
| title | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_alt | Радіаційна технологія покращення омічних контактів до елементів електронної техніки Radiation technology for improvement of ohmic contacts to the electronic device elements |
| title_full | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_fullStr | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_full_unstemmed | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_short | Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| title_sort | радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники |
| topic | Технологические процессы и оборудование |
| topic_facet | Технологические процессы и оборудование |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/51983 |
| work_keys_str_mv | AT konakovarv radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnoitehniki AT kolâdinaeû radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnoitehniki AT matveevala radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnoitehniki AT nelûbapl radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnoitehniki AT šinkarenkovv radiacionnaâtehnologiâulučšeniâomičeskihkontaktovkélementamélektronnoitehniki AT konakovarv radíacíinatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki AT kolâdinaeû radíacíinatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki AT matveevala radíacíinatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki AT nelûbapl radíacíinatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki AT šinkarenkovv radíacíinatehnologíâpokraŝennâomíčnihkontaktívdoelementívelektronnoítehníki AT konakovarv radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT kolâdinaeû radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT matveevala radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT nelûbapl radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements AT šinkarenkovv radiationtechnologyforimprovementofohmiccontactstotheelectronicdeviceelements |