Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs

Предложен метод измерения вольт-фарадных характеристик полупроводниковых структур с участками крутого падения с использованием измерительного переменного напряжения умеренно малых амплитуд. Показано, що вольт-фарадні характеристики, що мають ділянки крутого падіння, зокрема вольт-фарадні характерист...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2009
Hauptverfasser: Горев, Н.Б., Коджеспирова, И.Ф., Привалов, Е.Н.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52309
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 25-28. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862656526949285888
author Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
author_facet Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
citation_txt Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 25-28. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Предложен метод измерения вольт-фарадных характеристик полупроводниковых структур с участками крутого падения с использованием измерительного переменного напряжения умеренно малых амплитуд. Показано, що вольт-фарадні характеристики, що мають ділянки крутого падіння, зокрема вольт-фарадні характеристики тонкоплівкових структур GaAs, можуть бути виміряні при помірно малих амплітудах змінної напруги (порядку 100 мВ) за рахунок проведення вимірювань на двох різних амплітудах. Цей висновок підтверджено результатами числового розрахунку позірної ємності епітаксіальних структур GaAs.· It is shown that capacitance voltage characteristics that feature steeply dropping regions, in particular those of GaAs thin-film structures, may be measured at moderately small amplitudes of the measuring AC voltage (of the order of 100 mV) at the expense of taking measurements at two different amplitudes. This conclusion is confirmed by the results of numerical calculation of the apparent capacitance of GaAs epitaxial structures.
first_indexed 2025-12-02T05:24:03Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52309
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-02T05:24:03Z
publishDate 2009
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
2013-12-29T17:12:11Z
2013-12-29T17:12:11Z
2009
Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs / Н.Б. Горев, И.Ф. Коджеспирова, Е.Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 25-28. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52309
Предложен метод измерения вольт-фарадных характеристик полупроводниковых структур с участками крутого падения с использованием измерительного переменного напряжения умеренно малых амплитуд.
Показано, що вольт-фарадні характеристики, що мають ділянки крутого падіння, зокрема вольт-фарадні характеристики тонкоплівкових структур GaAs, можуть бути виміряні при помірно малих амплітудах змінної напруги (порядку 100 мВ) за рахунок проведення вимірювань на двох різних амплітудах. Цей висновок підтверджено результатами числового розрахунку позірної ємності епітаксіальних структур GaAs.·
It is shown that capacitance voltage characteristics that feature steeply dropping regions, in particular those of GaAs thin-film structures, may be measured at moderately small amplitudes of the measuring AC voltage (of the order of 100 mV) at the expense of taking measurements at two different amplitudes. This conclusion is confirmed by the results of numerical calculation of the apparent capacitance of GaAs epitaxial structures.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
Вольт-фарадні вимірювання в тонкоплівкових епітаксіальних структурах GaAs
Capacitance-voltage measurements in GaAs thin-film epitaxial structures
Article
published earlier
spellingShingle Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
Горев, Н.Б.
Коджеспирова, И.Ф.
Привалов, Е.Н.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
title_alt Вольт-фарадні вимірювання в тонкоплівкових епітаксіальних структурах GaAs
Capacitance-voltage measurements in GaAs thin-film epitaxial structures
title_full Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
title_fullStr Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
title_full_unstemmed Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
title_short Вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах GaAs
title_sort вольт-фарадные измерения в тонкопленочных эпитаксиальных структурах gaas
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52309
work_keys_str_mv AT gorevnb volʹtfaradnyeizmereniâvtonkoplenočnyhépitaksialʹnyhstrukturahgaas
AT kodžespirovaif volʹtfaradnyeizmereniâvtonkoplenočnyhépitaksialʹnyhstrukturahgaas
AT privaloven volʹtfaradnyeizmereniâvtonkoplenočnyhépitaksialʹnyhstrukturahgaas
AT gorevnb volʹtfaradnívimírûvannâvtonkoplívkovihepítaksíalʹnihstrukturahgaas
AT kodžespirovaif volʹtfaradnívimírûvannâvtonkoplívkovihepítaksíalʹnihstrukturahgaas
AT privaloven volʹtfaradnívimírûvannâvtonkoplívkovihepítaksíalʹnihstrukturahgaas
AT gorevnb capacitancevoltagemeasurementsingaasthinfilmepitaxialstructures
AT kodžespirovaif capacitancevoltagemeasurementsingaasthinfilmepitaxialstructures
AT privaloven capacitancevoltagemeasurementsingaasthinfilmepitaxialstructures