Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0....
Saved in:
| Published in: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|---|---|
| Date: | 2007 |
| Main Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2007
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52825 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос. |