Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа

Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2007
Hauptverfasser: Шарапов, В.М., Гуржий, А.Н., Филимонов, С.А.
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52825
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862734440928641024
author Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н.
Филимонов, С.А.
author_facet Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н.
Филимонов, С.А.
citation_txt Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.
first_indexed 2025-12-07T19:43:05Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52825
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 2225-5818
language Russian
last_indexed 2025-12-07T19:43:05Z
publishDate 2007
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
record_format dspace
spelling Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н.
Филимонов, С.А.
2014-01-07T22:58:57Z
2014-01-07T22:58:57Z
2007
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52825
Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Электронные средства: исследования, разработки
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
Трьохкоординатний п’єзокерамічний сканер на біморф¬них п’єзоелементах для зондового наномікроскопа
Three-coordinate the piezoceramic scanner on bimorphic piezoelements for probe nanomicroscope
Article
published earlier
spellingShingle Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н.
Филимонов, С.А.
Электронные средства: исследования, разработки
title Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_alt Трьохкоординатний п’єзокерамічний сканер на біморф¬них п’єзоелементах для зондового наномікроскопа
Three-coordinate the piezoceramic scanner on bimorphic piezoelements for probe nanomicroscope
title_full Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_fullStr Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_full_unstemmed Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_short Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_sort трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
topic Электронные средства: исследования, разработки
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52825
work_keys_str_mv AT šarapovvm trehkoordinatnyipʹezokeramičeskiiskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa
AT guržiian trehkoordinatnyipʹezokeramičeskiiskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa
AT filimonovsa trehkoordinatnyipʹezokeramičeskiiskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa
AT šarapovvm trʹohkoordinatniipêzokeramíčniiskanernabímorfnihpêzoelementahdlâzondovogonanomíkroskopa
AT guržiian trʹohkoordinatniipêzokeramíčniiskanernabímorfnihpêzoelementahdlâzondovogonanomíkroskopa
AT filimonovsa trʹohkoordinatniipêzokeramíčniiskanernabímorfnihpêzoelementahdlâzondovogonanomíkroskopa
AT šarapovvm threecoordinatethepiezoceramicscanneronbimorphicpiezoelementsforprobenanomicroscope
AT guržiian threecoordinatethepiezoceramicscanneronbimorphicpiezoelementsforprobenanomicroscope
AT filimonovsa threecoordinatethepiezoceramicscanneronbimorphicpiezoelementsforprobenanomicroscope