Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа

Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Date:2007
Main Authors: Шарапов, В.М., Гуржий, А.Н., Филимонов, С.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52825
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52825
record_format dspace
spelling Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н.
Филимонов, С.А.
2014-01-07T22:58:57Z
2014-01-07T22:58:57Z
2007
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52825
Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Электронные средства: исследования, разработки
Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
Трьохкоординатний п’єзокерамічний сканер на біморф¬них п’єзоелементах для зондового наномікроскопа
Three-coordinate the piezoceramic scanner on bimorphic piezoelements for probe nanomicroscope
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
spellingShingle Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н.
Филимонов, С.А.
Электронные средства: исследования, разработки
title_short Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_full Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_fullStr Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_full_unstemmed Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
title_sort трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа
author Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н.
Филимонов, С.А.
author_facet Шарапов, В.М.
Гуржий, А.Н.
Филимонов, С.А.
topic Электронные средства: исследования, разработки
topic_facet Электронные средства: исследования, разработки
publishDate 2007
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Трьохкоординатний п’єзокерамічний сканер на біморф¬них п’єзоелементах для зондового наномікроскопа
Three-coordinate the piezoceramic scanner on bimorphic piezoelements for probe nanomicroscope
description Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52825
citation_txt Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT šarapovvm trehkoordinatnyipʹezokeramičeskiiskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa
AT guržiian trehkoordinatnyipʹezokeramičeskiiskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa
AT filimonovsa trehkoordinatnyipʹezokeramičeskiiskanernabimorfnyhpʹezoélementahdlâzondovogonanomikroskopa
AT šarapovvm trʹohkoordinatniipêzokeramíčniiskanernabímorfnihpêzoelementahdlâzondovogonanomíkroskopa
AT guržiian trʹohkoordinatniipêzokeramíčniiskanernabímorfnihpêzoelementahdlâzondovogonanomíkroskopa
AT filimonovsa trʹohkoordinatniipêzokeramíčniiskanernabímorfnihpêzoelementahdlâzondovogonanomíkroskopa
AT šarapovvm threecoordinatethepiezoceramicscanneronbimorphicpiezoelementsforprobenanomicroscope
AT guržiian threecoordinatethepiezoceramicscanneronbimorphicpiezoelementsforprobenanomicroscope
AT filimonovsa threecoordinatethepiezoceramicscanneronbimorphicpiezoelementsforprobenanomicroscope
first_indexed 2025-12-07T19:43:05Z
last_indexed 2025-12-07T19:43:05Z
_version_ 1850879860594966528