Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре

Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре

Предложена экспериментально-расчетная методика определения напряжений, падающих на каждом из переходов трехбарьерной структуры. Результаты могут быть использованы для оценки параметров структуры....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Datum:2006
Hauptverfasser: Каримов, А.В., Ёдгорова, Д.М., Болтаева, Ш.Ш., Зоирова, Л.Х.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2006
Schlagworte:
Функциональная микро- и наноэлектроника
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52967
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Ш.Ш. Болтаева, Л.Х. Зоирова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 30-35. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-52967
record_format dspace
spelling Каримов, А.В.
Ёдгорова, Д.М.
Болтаева, Ш.Ш.
Зоирова, Л.Х.
2014-01-14T22:45:51Z
2014-01-14T22:45:51Z
2006
Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Ш.Ш. Болтаева, Л.Х. Зоирова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 30-35. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.
2225-5818
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52967
Предложена экспериментально-расчетная методика определения напряжений, падающих на каждом из переходов трехбарьерной структуры. Результаты могут быть использованы для оценки параметров структуры.
ru
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Функциональная микро- и наноэлектроника
Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре
Оцінка перерозподілу потенціалу у трьохбар'єрній структурі
Estimation of redistribution of potential in three-barrier structure
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре
spellingShingle Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре
Каримов, А.В.
Ёдгорова, Д.М.
Болтаева, Ш.Ш.
Зоирова, Л.Х.
Функциональная микро- и наноэлектроника
title_short Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре
title_full Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре
title_fullStr Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре
title_full_unstemmed Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре
title_sort оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре
author Каримов, А.В.
Ёдгорова, Д.М.
Болтаева, Ш.Ш.
Зоирова, Л.Х.
author_facet Каримов, А.В.
Ёдгорова, Д.М.
Болтаева, Ш.Ш.
Зоирова, Л.Х.
topic Функциональная микро- и наноэлектроника
topic_facet Функциональная микро- и наноэлектроника
publishDate 2006
language Russian
container_title Технология и конструирование в электронной аппаратуре
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
format Article
title_alt Оцінка перерозподілу потенціалу у трьохбар'єрній структурі
Estimation of redistribution of potential in three-barrier structure
description Предложена экспериментально-расчетная методика определения напряжений, падающих на каждом из переходов трехбарьерной структуры. Результаты могут быть использованы для оценки параметров структуры.
issn 2225-5818
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/52967
citation_txt Оценка перераспределения потенциала в трехбарьерной структуре / А.В. Каримов, Д.М. Ёдгорова, Ш.Ш. Болтаева, Л.Х. Зоирова // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 30-35. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT karimovav ocenkapereraspredeleniâpotencialavtrehbarʹernoistrukture
AT edgorovadm ocenkapereraspredeleniâpotencialavtrehbarʹernoistrukture
AT boltaevašš ocenkapereraspredeleniâpotencialavtrehbarʹernoistrukture
AT zoirovalh ocenkapereraspredeleniâpotencialavtrehbarʹernoistrukture
AT karimovav ocínkapererozpodílupotencíaluutrʹohbarêrníistrukturí
AT edgorovadm ocínkapererozpodílupotencíaluutrʹohbarêrníistrukturí
AT boltaevašš ocínkapererozpodílupotencíaluutrʹohbarêrníistrukturí
AT zoirovalh ocínkapererozpodílupotencíaluutrʹohbarêrníistrukturí
AT karimovav estimationofredistributionofpotentialinthreebarrierstructure
AT edgorovadm estimationofredistributionofpotentialinthreebarrierstructure
AT boltaevašš estimationofredistributionofpotentialinthreebarrierstructure
AT zoirovalh estimationofredistributionofpotentialinthreebarrierstructure
first_indexed 2025-11-26T16:07:57Z
last_indexed 2025-11-26T16:07:57Z
_version_ 1850627337723314176
fulltext 30 ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 4 Äàòà ïîñòóïëåíèÿ â ðåäàêöèþ 31.01 2006 ã. Îïïîíåíò ê. ò. í. Â. Â. ÐÞÕÒÈÍ (ÖÊÁ "Ðèòì", ã. ×åðíîâöû) Ïðåäëîæåíà ýêñïåðèìåíòàëüíî-ðàñ- ÷åòíàÿ ìåòîäèêà îïðåäåëåíèÿ íàïðÿ- æåíèé, ïàäàþùèõ íà êàæäîì èç ïåðå- õîäîâ òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðû. Ðå- çóëüòàòû ìîãóò áûòü èñïîëüçîâàíû äëÿ îöåíêè ïàðàìåòðîâ ñòðóêòóðû.  íàñòîÿùåå âðåìÿ ïîâûøåíèå ýôôåêòèâíîñòè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ ñòàëè îñóùåñòâëÿòü â òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå çà ñ÷åò ïðèâëå÷åíèÿ íå- ñêîëüêèõ áàðüåðîâ. Òàê, ýôôåêòèâíîñòü ñòðóêòóð òèïà ñîëíå÷íîãî ýëåìåíòà ïîâûøàþò ïóòåì ïîñëåäîâàòåëü- íîãî ñîåäèíåíèÿ â îäèí êàñêàä íåñêîëüêèõ ýëåìåí- òîâ, âêëþ÷åííûõ â îäíîì íàïðàâëåíèè ñ ïîìîùüþ òóííåëüíûõ ïåðåõîäîâ ìåæäó íèìè [1].  ôîòîäèîä- íûõ ñòðóêòóðàõ ñ öåëüþ ïîâûøåíèÿ áûñòðîäåéñòâèÿ ñîçäàþò âñòðå÷íî-øòûðåâûå ïëàíàðíûå ñòðóêòóðû ñ äâóìÿ áàðüåðàìè Øîòòêè [2].  íèõ íàëè÷èå îáëàñ- òåé îáúåìíîãî çàðÿäà ïîä äâóìÿ áàðüåðíûìè êîíòàê- òàìè ïðèâîäèò ê óìåíüøåíèþ ñóììàðíîé åìêîñòè ñòðóêòóðû è, òåì ñàìûì, ê ïîâûøåíèþ áûñòðîäåé- ñòâèÿ.  äàííûõ ñòðóêòóðàõ áëàãîäàðÿ òîìó, ÷òî îäèí èç áàðüåðîâ âñåãäà âêëþ÷åí â ïðîòèâîïîëîæíîì íà- ïðàâëåíèè ïî îòíîøåíèþ ê îñòàëüíûì ïåðåõîäàì, âñå ïðîöåññû îïðåäåëÿþòñÿ çàïèðàåìûì ïåðåõîäîì, ïà- äåíèå íàïðÿæåíèÿ îïðåäåëÿåòñÿ â îñíîâíîì çàïèðà- þùèì êîíòàêòîì. Ïîýòîìó èõ âîëüò-àìïåðíûå õàðàê- òåðèñòèêè ïðåäñòàâëÿþòñÿ îáðàòíûìè âåòâÿìè. Çäåñü àêòèâíîé ôîòî÷óâñòâèòåëüíîé îáëàñòüþ ÿâëÿåòñÿ ÷àñòü ñëîÿ, çàêëþ÷åííîãî ìåæäó ïëàíàðíûìè êîíòàêòàìè, ò. å. îíè ÷óâñòâèòåëüíû ñ îäíîé ñòîðîíû, è êîíòàêòû ôóíêöèîíàëüíî ÿâëÿþòñÿ âçàèìîçàìåíÿåìûìè. Äâóõñòîðîííå ÷óâñòâèòåëüíûå äâóõáàðüåðíûå m� p�m-, m�n�m-ñòðóêòóðû ñ äâóìÿ áàðüåðàìè Øîòòêè ïðèâåäåíû â ðàáîòå [3]; áëàãîäàðÿ òîìó, ÷òî â íèõ ôîòîïðèåìíûìè ÿâëÿþòñÿ îáà âûïðÿìëÿþùèõ ïåðå- õîäà "ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê", îíè îáëàäàþò âûñî- êîé ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòüþ â êîðîòêîâîëíîâîé îá- ëàñòè ñïåêòðà. Äëÿ ïîâûøåíèÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè è áûñòðî- äåéñòâèÿ ôîòîäèîäíûõ ñòðóêòóð â ðàáîòàõ [4, 5] îñó- ùåñòâëåíî èíòåãðèðîâàíèå ð�ï-ïåðåõîäà ñ îáðàòíî- âêëþ÷åííûìè ïåðåõîäàìè "ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê" â åäèíóþ ñòðóêòóðó. Òàêèì îáðàçîì ïîëó÷åíû äâóõ- ñòîðîííå ÷óâñòâèòåëüíûå äâóõáàðüåðíûå m�p�n [6, 7] è òðåõáàðüåðíûå m�p�n�m-ñòðóêòóðû ñ èäåíòè÷- íûìè âîëüò-àìïåðíûìè õàðàêòåðèñòèêàìè [8]. Èõ ïà- ðàìåòðû ñóùåñòâåííûì îáðàçîì çàâèñÿò îò òåõíîëî- ãèè ïîëó÷åíèÿ àêòèâíûõ ñëîåâ è ïîòåíöèàëüíûõ áàðü- åðîâ. Àâòîðàìè ðàáîò [9�11] ïîëó÷åíû äâóõáàðü- åðíûå ñòðóêòóðû ñ íåèäåíòè÷íûìè âåòâÿìè âîëüò-àì- ïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê, êîòîðûå îáúÿñíåíû íåîäíî- ðîäíûì ðàñïðåäåëåíèåì ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ â áàðü- åðàõ ïðè ñìåíå ïîëÿðíîñòè. Íà îáðàçöàõ, ïðèâåäåííûõ â óïîìÿíóòûõ ðàáîòàõ, ïîëó÷åíû çíà÷åíèÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè, íàìíîãî ïðåâûøàþùèå ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü îáû÷íûõ ôî- òîäèîäíûõ ñòðóêòóð ñ îäíèì ïåðåõîäîì [12]. Èçó÷å- íû ïðîöåññû ôîòîýëåêòðè÷åñêîãî óñèëåíèÿ è ôîð- ìèðîâàíèÿ ñïåêòðàëüíûõ õàðàêòåðèñòèê â òðåõáàðü- åðíîé m�pGaAs�nAlGaAs�m-ñòðóêòóðå [13, 14]. Îä- íàêî ïðîöåññû, ïðîèñõîäÿùèå â îáëàñòè îáúåìíîãî çàðÿäà, êîòîðûå îòâåòñòâåííû çà ôîòîýëåêòðè÷åñêîå óñèëåíèå, îñòàþòñÿ íåèçó÷åííûìè.  ðàáî÷åì ðåæè- ìå ïî ìåðå èçìåíåíèÿ ïðèëîæåííîãî íàïðÿæåíèÿ îíè ïåðåðàñïðåäåëÿþòñÿ ìåæäó îáðàòíîâêëþ÷åííûìè áàðü- åðàìè. Õàðàêòåð èõ ïåðåðàñïðåäåëåíèÿ è õîä ðîñòà îïðåäåëÿþò ôîòîýëåêòðè÷åñêèå õàðàêòåðèñòèêè, ÷òî òðåáóåò èçó÷åíèÿ ýëåêòðîííûõ ïðîöåññîâ â òåìíîòå. Öåëüþ íàñòîÿùåé ðàáîòû ÿâëÿåòñÿ îöåíêà ïåðå- ðàñïðåäåëåíèÿ íàïðÿæåíèé, ïàäàþùèõ íà êàæäîì ïå- ðåõîäå òðåõáàðüåðíîé m1�ð�n�m2-ñòðóêòóðû. Îñîáåííîñòè òîêîâûõ õàðàêòåðèñòèê òðåõáàðü- åðíûõ ñòðóêòóð Ðàññìàòðèâàåìûå òðåõáàðüåðíûå ñòðóêòóðû ïðåä- ñòàâëÿþò ñîáîé äèîäû ñ äâóìÿ òîêîîòâîäÿùèìè êîí- òàêòàìè. Îíè ïîëó÷åíû íà îñíîâå ïîëóïðîâîäíèêî- âîãî (ãîìî- èëè ãåòåðî-) p�n-ïåðåõîäà ñî ñôîðìèðî- âàííûìè ê ïîâåðõíîñòÿì îáåèõ îáëàñòåé âûïðÿìëÿ- þùèìè ïåðåõîäàìè "ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê".  êà- ÷åñòâå âûïðÿìëÿþùèõ áàðüåðîâ ìîãóò áûòü ñôîð- ìèðîâàíû áàðüåðû Øîòòêè è Ìîòòà.  ðåçóëüòàòå ïî- ëó÷àåòñÿ m1�ð�n�m2-ñòðóêòóðà, â êîòîðîé m1�ð- è n�m2-ïåðåõîäû îêàçûâàþòñÿ ñîåäèíåííûìè ïîñëåäîâà- òåëüíî, à ð�n-ïåðåõîä � âñòðå÷íî. Îíà ÿâëÿåòñÿ äâóõ- ñòîðîííå ÷óâñòâèòåëüíîé, ïîñêîëüêó îáå ïîâåðõíîñ- òè ÿâëÿþòñÿ ôîòîïðèåìíûìè. Ïðè ïîäñâåòêå ëþáîé èç ñòîðîí âîçíèêàåò ôîòîòîê. Ïðè ïðèëîæåíèè âíåøíåãî íàïðÿæåíèÿ â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà äâà ìåòàëëîïîëó- ïðîâîäíèêîâûõ ïåðåõîäà âõîäÿò â ðåæèì îáðàòíîãî ñìåùåíèÿ, ïðè÷åì òîê â öåïè áóäåò îãðàíè÷èâàòüñÿ òîêîì ìåòàëëîïîëóïðîâîäíèêîâîãî ïåðåõîäà ñ íàè- áîëüøèì ñîïðîòèâëåíèåì (ðèñ. 1). ÎÖÅÍÊÀ ÏÅÐÅÐÀÑÏÐÅÄÅËÅÍÈß ÏÎÒÅÍÖÈÀËÀ  ÒÐÅÕÁÀÐÜÅÐÍÎÉ ÑÒÐÓÊÒÓÐÅ Ä. ô.-ì. í. À. Â. ÊÀÐÈÌÎÂ, ê. ô.-ì. í. Ä. Ì. ¨ÄÃÎÐÎÂÀ, Ø. Ø ÁÎËÒÀÅÂÀ, Ë. Õ. ÇÎÈÐÎÂÀ Óçáåêèñòàí, ã. Òàøêåíò, ÍÏÎ "Ôèçèêà-Ñîëíöå" Å-mail: karimov@uzsci.net Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 4 31 ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Ïðîöåññ ôîðìèðîâàíèÿ òîêîâîé õàðàêòåðèñòèêè â òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðå ìîäåëüíî ìîæíî îáúÿñíèòü ñëåäóþùèì îáðàçîì. Ïðè ïðÿìîì ñìåùåíèè ð�n-ïå- ðåõîäà (ðèñ. 1) äâà ìåòàëëîïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïå- ðåõîäà ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíÿþòñÿ, ïåðåõîä ñ áîëü- øèì ñîïðîòèâëåíèåì (êðèâàÿ 1) îãðàíè÷èâàåò òîê âòîðîãî ïåðåõîäà (êðèâàÿ 2), è â ñîâìåùåííîé êðè- âîé 3 èìååì ñóììó íàïðÿæåíèé, ïàäàþùèõ íà êàæ- äîì ïåðåõîäå. Äàëåå òîê ïðÿìîñìåùàåìîãî ð�n-ïå- ðåõîäà (êðèâàÿ 4) áóäåò îãðàíè÷èâàòüñÿ çàïèðàåìû- ìè áàðüåðàìè (êðèâàÿ 3), è â òî÷êå ïåðåñå÷åíèÿ èõ âîëüò-àìïåðíûõ õàðàêòåðèñòèê íà êàæäûé ïåðåõîä ïðèêëàäûâàåòñÿ íàïðÿæåíèå, ðàâíîå V0. Ñîïðîòèâ- ëåíèå îáðàòíîñìåùàåìûõ ïåðåõîäîâ ñòàíîâèòñÿ ðàâ- íûì ñîïðîòèâëåíèþ ïðÿìîñìåùàåìîãî ð�n-ïåðåõî- äà. Òî åñòü â òðåõ ïåðåõîäàõ îáùåå íàïðÿæåíèå áóäåò áîëüøå â äâà ðàçà � 2V0, êðèâàÿ 5.  ðåæèìå îáðàòíîãî ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà (ðèñ. 2) òîê îïðåäåëÿåòñÿ çàïèðàåìûì ð�n-ïåðåõîäîì, ïðè ýòîì äâà ïðÿìîñìåùàåìûõ ïåðåõîäà "ìåòàëë�ïîëó- ïðîâîäíèê" (êðèâûå 1 è 2) ñêëàäûâàþòñÿ êàê îäèí (êðèâàÿ 3).  ðåçóëüòèðóþùåé êðèâîé 3 äëÿ çàäàííûõ òîêîâ èìååì ñóììàðíûå íàïðÿæåíèÿ, ïàäàþùèå íà êàæäîì ïåðåõîäå. Äàëåå òîê ïðÿìîñìåùàåìûõ ïåðåõîäîâ îãðàíè÷èâàåòñÿ çàïèðàåìûì ð�n-ïåðåõîäîì (êðèâàÿ 4), è èõ âîëüò-àìïåðíûå õàðàêòåðèñòèêè ïåðåñåêàþòñÿ ïðè íàïðÿæåíèè V0, èìåÿ ðàâíûå ñîïðîòèâëåíèÿ. Íà ñàìîì äåëå â îáðàòíî-âñòðå÷íîâêëþ÷åííîì ðåæèìå èìååì ñóììàðíîå íàïðÿæåíèå 2V0, çà ïðåäåëàìè êî- òîðîãî òîê îãðàíè÷èâàåòñÿ çàïèðàåìûì ð�n-ïåðåõî- äîì (êðèâàÿ 5).  îáîèõ ðåæèìàõ åñëè íà ó÷àñòêå äî òî÷êè ïåðåãèáà âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè âñå òðè ïåðåõîäà îïðåäåëÿþò îáùèé òîê, òî ñ óâåëè÷åíè- åì íàïðÿæåíèÿ ïîñòåïåííî ïðîèñõîäèò îãðàíè÷åíèå òîêà çàïèðàåìûì ïåðåõîäîì. Âíà÷àëå ïðÿìîñìåùàå- ìûé ïåðåõîä, çàòåì çàïèðàåìûé áàðüåð, è ñ ìîìåíòà, êîãäà óæå òîêè áóäóò îïðåäåëÿòüñÿ ñîïðîòèâëåíèåì ïåðåõîäà ñ íàèáîëüøèì çíà÷åíèåì, ïîÿâëÿåòñÿ òî÷êà ïåðåãèáà íà âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêå, è äàëü- íåéøèé õîä ôîðìèðóåòñÿ ýòèì çàïèðàåìûì ïåðåõî- äîì.  ñîñòàâå ðàçäåëÿåìûõ íàìè íàïðÿæåíèé, ïàäà- þùèõ íà ïðÿìî- è îáðàòíîñìåùàåìûõ ïåðåõîäàõ, íà ñàìîì äåëå â íåÿâíîì âèäå ñîäåðæàòñÿ ÷àñòè íàïðÿ- æåíèé, ïàäàþùèõ è íà ïðîòèâîïîëîæíûõ ïåðåõîäàõ. Òàêèì îáðàçîì, ðàçäåëåíèå ÿâëÿåòñÿ óñëîâíûì, è ìû èìååì äåëî ñ ýôôåêòèâíûìè çíà÷åíèÿìè ïàäàþùåãî íàïðÿæåíèÿ è óñëîâíûìè ïðÿìûì è îáðàòíûì ñìå- ùåíèÿìè (ðèñ. 1, 2). Òàê êàê âñå ïåðåõîäû ýëåêòðè÷åñêè ñîåäèíåíû â åäèíóþ öåïî÷êó è ñîçäàþò îáùåå ñîïðîòèâëåíèå 1 2 îáù 1 2 3 ,m p n mp nR R R R− −−= + + (1) òî ïðè èçìåðåíèÿõ ìû áóäåì îïðåäåëÿòü ïðîòåêàþ- ùèé ÷åðåç íèõ îáùèé òîê 1 2 îáù m p n mI − − − è îáùåå íàïðÿ- æåíèå, ïðèêëàäûâàåìîå èçâíå, êîòîðîå ðàñïðåäåëÿ- åòñÿ ìåæäó ïåðåõîäàìè â ýôôåêòèâíîì âèäå.  êàæ- äîì èç íàïðÿæåíèé ñîäåðæèòñÿ ÷àñòü íàïðÿæåíèÿ, ïàäàþùåãî íà äðóãèõ ïåðåõîäàõ, ò. ê. èõ âêëàä â âåëè÷èíó îáùåãî òîêà ñâîäèòñÿ ê íóëþ (ðèñ. 1). 1 2 1 2 îáù 1 2 3 .m p n m m p n mp nV V V V− − − − −−= + + (2)  ðåæèìå ïðÿìîñìåùàþùåãî ð�n-ïåðåõîäà äâà ïîñëåäîâàòåëüíî âêëþ÷åííûõ ïåðåõîäà íàõîäÿòñÿ â ðåæèìå çàïèðàíèÿ. Ìîæíî ñêàçàòü, èìååì îáùèé ïðÿ- ìîé òîê 1 2 îáù,ïðÿì m p n mI − − − è îáùåå ïðÿìîå íàïðÿæåíèå 1 2 1 2 îáù,ïðÿì ïð îáð îáð ,m p n m m p n mp nV V V V− − − − −−= + + (3) à â ðåæèìå îáðàòíîãî ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà � îá- ùèé îáðàòíûé òîê 1 2 îáù,îáð m p n mI − − − è îáùåå îáðàòíîå íàïðÿ- æåíèå 1 2 1 2 îáù,îáð ïð ïð îáð .m p n m m p n m p nV V V V− − − − − −= + + (4) Ñòðóêòóðû ñ îáðàòíîâêëþ÷åííûìè ïåðåõîäàìè ìîãóò áûòü ñèììåòðè÷íûìè è íåñèììåòðè÷íûìè.  ìåòàëëîïîëóïðîâîäíèêîâûõ òðåõáàðüåðíûõ ñòðóêòó- ðàõ ïåðåõîäû ñ÷èòàþòñÿ ñèììåòðè÷íûìè ïðè ðàâåí- ñòâå ñîïðîòèâëåíèé: 1 2 1 2 ïð îáð îáð ïð ïð îáð ,m p n m m p n mp n p nR R R R R R− − − −− −+ + = + + (5) òî åñòü ïð îáð îáù îáù .R R= Íåçàâèñèìî îò õàðàêòåðíûõ ïðèçíàêîâ ñèììåòðè÷- íîñòü ñòðóêòóðû íà ïðàêòèêå îïðåäåëÿåòñÿ èäåíòè÷- íûì âèäîì, ò. å. ñîâïàäåíèåì ýëåêòðè÷åñêèõ õàðàê- òåðèñòèê ïðè ñìåíå ïîëÿðíîñòè ðàáî÷åãî íàïðÿæå- íèÿ. Ïðè íàðóøåíèè ýòèõ óñëîâèé ìåòàëëîïîëóïðî- âîäíèêîâûå ïåðåõîäû ñòàíîâÿòñÿ íåñèììåòðè÷íûìè è ïîÿâëÿåòñÿ ðàçíîñòü âåëè÷èí îáùèõ òîêîâ ïðè ïðÿ- ìûõ è îáðàòíûõ íàïðàâëåíèÿõ: ïð îáð îáù îáù .R R≠ (6) Èññëåäóåìûå òðåõáàðüåðíûå ñòðóêòóðû òàêîâû, ÷òî â íèõ ãåíåðàöèîííûå òîêè ÿâëÿþòñÿ íèçêèìè � áëà- ãîäàðÿ íàëè÷èþ áàðüåðà äëÿ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé ñî ñòîðîíû n-îáëàñòè, íàïðèìåð áàðüåðà Ìîòòà. Ïðè íóëåâîì ñìåùåíèè è ïîäñâåòêå ñî ñòîðîíû áàðüåðà Ìîòòà èìååì äûðî÷íûé ôîòîòîê, à ïðè ïîäñâåòêå ñî I 2I0 I0 V0 2V0 V 1 � (m1�p) 2 � (n�m2) 3 � (m1�p)+(n�m2) 4 � (p�n) 5 � (m1�p�n�m2) 1 2 4 5 3 Ðèñ. 1. Ñõåìàòè÷åñêàÿ äèàãðàììà âêëàäà òðåõ ïåðåõîäîâ â âîëüò-àìïåðíóþ õàðàêòåðèñòèêó äëÿ ðåæèìà (+)m1�p�n�m2(�) I 2I0 I0 V0 2V0 V 1 � (m1�p) 2 � (n�m2) 3 � (m1�p)+(n�m2) 4 � (p�n) 5 � (m1�p�n�m2) 12 4 5 3 Ðèñ. 2. Ñõåìàòè÷åñêàÿ äèàãðàììà âêëàäà òðåõ ïåðåõîäîâ â âîëüò-àìïåðíóþ õàðàêòåðèñòèêó äëÿ ðåæèìà (�)m1�p�n�m2(+) 32 ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 4 ñòîðîíû áàðüåðà Øîòòêè (ð-îáëàñòè) � ýëåêòðîííûé ôîòîòîê. Ïðè ýòîì ñ óâåëè÷åíèåì èíòåíñèâíîñòè îñâåùåíèÿ áàðüåð äëÿ äûðî÷íîãî ôîòîòîêà ñòàíîâèòñÿ ïðîçðà÷íûì, è ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü âîçðàñòàåò.  ðåæèìå çàïèðàåìûõ ïåðåõîäîâ "ìåòàëë�ïîëó- ïðîâîäíèê" ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü ñ îáåèõ ïîâåðõ- íîñòåé ýôôåêòèâíà. Ïðè ýòîì îäíîâðåìåííîå îñâå- ùåíèå îáåèõ ïîâåðõíîñòåé ñïîñîáñòâóåò ñëîæåíèþ ãåíåðèðóåìûõ ôîòîòîêîâ.  ðåæèìå îáðàòíîãî ñìå- ùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòü îáåñïå÷è- âàåòñÿ â äëèííîâîëíîâîé îáëàñòè ñïåêòðà, à ïðè âîç- áóæäåíèè ñî ñòîðîíû áàðüåðà Øîòòêè � íà÷èíàÿ ñ êîðîòêîâîëíîâîãî äèàïàçîíà. Ìíîãîáàðüåðíîñòü äàííîé ñòðóêòóðû ïðèâîäèò ê ñëåäóþùèì îñîáåííîñòÿì. 1. Îãðàíè÷åíèå ðàáî÷åãî òîêà îáðàòíîâêëþ÷åííûì ïåðåõîäîì ïðåäîòâðàùàåò ïðåæäåâðåìåííûé ïðîáîé ëþáîãî èç ïåðåõîäîâ. 2. Ñêëàäûâàþòñÿ ðàáî÷èå íàïðÿæåíèÿ. 3.  ëþáîì íàïðàâëåíèè ðåàëèçóåòñÿ ôîòîäèîä- íûé ðåæèì. 4. Ïðè ñìåíå ïîëÿðíîñòè ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ ïîïåðåìåííî ôóíêöèîíàëüíûìè ñòàíîâÿòñÿ çàïèðàå- ìûé ð�n-ïåðåõîä è ìåòàëëîïîëóïðîâîäíèêîâûå ïå- ðåõîäû, ÷òî ïîçâîëÿåò óïðàâëÿòü ñïåêòðàëüíûì äèà- ïàçîíîì. 5. Áëàãîäàðÿ ïîñëåäîâàòåëüíîìó ñîåäèíåíèþ òðåõ áàðüåðîâ óâåëè÷èâàåòñÿ áûñòðîäåéñòâèå. 6. Âîçìîæíîñòü óâåëè÷åíèÿ ïðîòÿæåííîñòè ýëåê- òðè÷åñêîãî ïîëÿ ñïîñîáñòâóåò ïîâûøåíèþ ôîòî÷óâ- ñòâèòåëüíîñòè. 7. Ìàëûå îáðàòíûå òîêè ïî ñðàâíåíèþ ñî ñòðóê- òóðàìè ñ îäèíî÷íûì áàðüåðîì, äâóõñòîðîííÿÿ ôîòî- ÷óâñòâèòåëüíîñòü è ðàáîòîñïîñîáíîñòü â îáîèõ íà- ïðàâëåíèÿõ ðàáî÷åãî íàïðÿæåíèÿ äåëàþò òðåõáàðüåð- íûå ñòðóêòóðû ìíîãîôóíêöèîíàëüíûìè. Ðàñ÷åò ïåðåðàñïðåäåëåíèÿ íàïðÿæåíèé íà îáðàòíî-âêëþ÷åííûõ ïåðåõîäàõ òðåõáàðüåðíûõ ñòðóêòóð Õàðàêòåðèñòèêè äâóõáàðüåðíûõ ñòðóêòóð ìîæíî îïèñàòü îñíîâûâàÿñü íà ìîäåëè Âàí Îïäîðïà è Êà- íåðâû, ðàçðàáîòàííîé äëÿ äâîéíûõ ãåòåðîïåðåõîäîâ nGe�nSi êàê äâîéíûõ îáðàòíîâêëþ÷åííûõ áàðüåðîâ Øîòòêè [8, 9]. Íàìè íà îñíîâå ýêñïåðèìåíòàëüíîé âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè äâóõáàðüåðíîé ñòðóê- òóðû îïðåäåëåíû íàïðÿæåíèÿ, ïàäàþùèå îòäåëüíî íà êàæäîì ïåðåõîäå [15]. Ïðè ýòîì ïðèíöèï ñóììèðî- âàíèÿ ïðÿìîé è îáðàòíîé âåòâåé âûïîëíåí äëÿ ïî- ñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííûõ â åäèíóþ öåïî÷êó ïðÿìî- èëè îáðàòíîâêëþ÷åííûõ áàðüåðîâ Øîòòêè è ð�n-ïå- ðåõîäà. Ïðèðîäà òîêîâ, ïðîòåêàþùèõ ÷åðåç áàðüåð, îïðå- äåëÿåòñÿ ïîäâèæíîñòüþ íîñèòåëåé çàðÿäà è íàïðÿæåí- íîñòüþ ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ. Äëÿ îáðàçîâàíèÿ áàðü- åðà â ïîëóïðîâîäíèêàõ òèïà À3Â5 êîíöåíòðàöèÿ íî- ñèòåëåé äîëæíà áûòü áîëüøå 1014 ñì�3 [16]. Ñîîòâåò- ñòâåííî, íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêèõ ïîëåé ãëàâ- íûì îáðàçîì îïðåäåëÿþò îáðàòíûå òîêè [17]. Îäíàêî ïðè àíàëèçå òðåõáàðüåðíûõ ñòðóêòóð (êàê è äâóõáàðüåðíûõ) íåîáõîäèìî ó÷åñòü íåêîòîðûå îñî- áåííîñòè. Åñëè â äâóõáàðüåðíîé ñòðóêòóðå â êàæäîì èç íàïðàâëåíèé ìû èìåëè ëèøü ïî îäíîìó çàïèðàå- ìîìó ïåðåõîäó, òî â ñëó÷àå òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðû â ëþáîì èç íàïðàâëåíèé ê îäíîìó ïîëóïðîâîäíèêî- âîìó áàðüåðó âñòðå÷íî âêëþ÷àþòñÿ äâà ïîñëåäîâà- òåëüíî ñîåäèíåííûõ ìåòàëëîïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïå- ðåõîäà. Îòíîøåíèå ñîïðîòèâëåíèé ýòèõ îòäåëüíûõ ïåðåõîäîâ, íåçàâèñèìî îò ðåæèìà ðàáî÷åãî íàïðÿ- æåíèÿ, ñîõðàíÿåòñÿ íà÷èíàÿ ñ òî÷êè ïåðåãèáà âîëüò- àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè âïëîòü äî ïðåäïðîáîéíîé îáëàñòè, ÷òî ðàâíîñèëüíî îòíîøåíèþ èñõîäíûõ ýëåê- òðè÷åñêèõ ïîëåé ìåæäó íèìè: 2 1 0 3 3 0 11 , n m m p R Å ÅR − − = (7) ãäå 0 3Å � ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå n�m2-ïåðåõîäà, êîòî- ðîå îïðåäåëÿåòñÿ îòíîøåíèåì âûñîòû ïîòåíöèàëüíî- ãî áàðüåðà ê òîëùèíå ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà � 1 2 2 20 3 0 3 3 30 3 2 ; n m n m n Å q NW − −  ϕ εε ϕ= = ϕ     (8) 0 3W � òîëùèíà ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà n�m2-ïåðå- õîäà â ðàâíîâåñíîì ñîñòîÿíèè; 2 3 n m−ϕ � âûñîòà ïî- òåíöèàëüíîãî áàðüåðà â n�m2-ïåðåõîäå; ε, ε0 � äè- ýëåêòðè÷åñêàÿ ïðîíèöàåìîñòü ïîëóïðîâîäíèêà è âà- êóóìà, ñîîòâåòñòâåííî; 0 1E � ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå m1�p-ïåðåõîäà � 1 2 1 10 1 0 1 1 10 1 2 . m p m p p E q NW − −  ϕ εε ϕ= = ϕ     (9) Çäåñü ñîïðîòèâëåíèå ôàêòè÷åñêè ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé îòíîøåíèå íàïðÿæåíèÿ ê òîêó.  ñâîþ î÷åðåäü, ïðèëàãàåìîå ê áàðüåðó íàïðÿæåíèå ïðèâîäèò ê ðàñ- øèðåíèþ ñëîÿ îáåäíåíèÿ îáðàòíî ïðîïîðöèîíàëüíî êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé áàçîâîé îáëàñòè. Åñëè ñî- ïðîòèâëåíèÿ îáîèõ ïåðåõîäîâ áóäóò ðàâíûìè, òî ðà- áî÷åå íàïðÿæåíèå â ðåæèìå çàïèðàíèÿ áàðüåðîâ óâå- ëè÷èòñÿ â äâà ðàçà, à ïðè èõ ðàçëè÷èè áóäåò îïðåäå- ëÿòüñÿ ïðåäåëîì ïåðåõîäà ñ íàèáîëüøèì ñîïðîòèâ- ëåíèåì. Èñïîëüçóÿ ýêñïåðèìåíòàëüíûå äàííûå çàâèñèìî- ñòè òîêà îò íàïðÿæåíèÿ, ìîæíî îöåíèòü ïåðåðàñïðå- äåëåíèå íàïðÿæåíèÿ ìåæäó ïåðåõîäàìè òðåõáàðüåð- íîé ñòðóêòóðû.  ñîîòâåòñòâèè ñ ýëåêòðè÷åñêîé ýêâèâàëåíòíîé ñõåìîé (ðèñ. 3), ãäå öåíòðàëüíûé ð�n-ïåðåõîä âêëþ- ÷åí ïðîòèâîïîëîæíî äâóì ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäè- íåííûì ïî îòíîøåíèþ ê ïðèëàãàåìîìó íàïðÿæåíèþ ïåðåõîäàì m1�ð è n�m2, òðåõáàðüåðíûå m1�ð�n�m2- ñòðóêòóðû ñâîäÿòñÿ ê äâóõáàðüåðíûì ñòðóêòóðàì. Äëÿ ýòîãî îäèí èç ïîñëåäîâàòåëüíî âêëþ÷åííûõ m1�ð- áàðüåðîâ ìîæíî ðàñïîëîæèòü ñëåäîì çà n�m2-ïåðå- õîäîì, êàê ïîêàçàíî íà ðèñ. 4. Òîãäà ñîïðîòèâëåíèÿ Ðèñ. 3. Ýêâèâàëåíòíàÿ ñõåìà òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðû 1 1V Ðèñ. 4. Óïðîùåííàÿ ýêâèâà- ëåíòíàÿ ñõåìà òðåõáàðüåð- íîé ñòðóêòóðû, ïðèâåäåí- íîé ê äâóõáàðüåðíîé V1 V2 V3m1 m2 p n p n V2 Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 4 33 ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ ïåðâîãî è òðåòüåãî ïåðåõîäîâ, ïðåäñòàâëÿþùèå ñî- áîé ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííûå áàðüåðû Øîòòêè, ìîæíî ïðèíÿòü êàê îäíî � 1 21 1 1 3 ,m p n mR R R− −= + (10) è ð�n-ïåðåõîäà � êàê 2 p nR − . Íàïðÿæåíèå, ïàäàþùåå íà ïåðåõîäå 1 1R , ìîæíî âûðàçèòü êàê 1 21 1 1 3 .m p n mV V V− −= + (11) Äëÿ ñëó÷àÿ, êîãäà ïð îáð îáù îáùR R≠ , çà ñ÷åò p nN N≠ , 1 2ϕ ≠ ϕ è 1 2 1 3 ,m p n mV V− −≠ ïîëüçóÿñü ðàâåíñòâîì òî- êîâ, ïðîòåêàþùèõ ÷åðåç âñå ïåðåõîäû, 1 2 1 2 1(îáð) 2(ïð) 3(îáð) îáù,ïðÿì m p n m m p n mp nI I I I− − − − −−= = = (12) è ó÷èòûâàÿ îñîáåííîñòè òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðû, îòðàæåííîé â ôîðìóëå (3), âûâåäåì ôîðìóëû äëÿ îïðåäåëåíèÿ ïåðåðàñïðåäåëåíèÿ ïàäàþùèõ íàïðÿæå- íèé 1 1 m pV − , 2 p nV − è 2 3 n mV − íà êàæäîì èç ïåðåõîäîâ â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà.  ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà äî òî÷- êè ïåðåãèáà âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè èìååì îäèí ïðÿìîñìåùàåìûé ïåðåõîä è äâà ïîñëåäîâàòåëü- íî ñîåäèíåííûõ áàðüåðà "ìåòàëë�ïîëóïðîâîäíèê", êîòîðûå îïðåäåëÿþò õîä êðèâîé âîëüò-àìïåðíîé õà- ðàêòåðèñòèêè. Òàê êàê íàïðÿæåíèå, ïðèëîæåííîå èçâíå, ðàñïðå- äåëÿåòñÿ ìåæäó ïðÿìî- è îáðàòíîñìåùåííûìè ïåðå- õîäàìè ñëåäóþùèì îáðàçîì � 1 1 1 2 1 2 ,p n p nR V V R− −⋅ = ⋅ (13) ñíà÷àëà îïðåäåëèì íàïðÿæåíèå, ïàäàþùåå íà ïðÿìî- ñìåùàåìîì ïåðåõîäå. 1 2(ïð) 1 2(ïð) 1 1 . . p n p n R V V R − − = (14) Çäåñü ñîïðîòèâëåíèÿ 2(ïð) p nR − è 1 1(îáð)R â òî÷êå ïåðå- ãèáà âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè ðàâíû ìåæäó ñîáîé, ïîýòîìó ñîïðîòèâëåíèå êàæäîãî ïåðåõîäà ðàâ- íî ïîëîâèíå îáùåãî ñîïðîòèâëåíèÿ: 0 0 îáù(ïð) îáù(ïð) 2(ïð) 0 îáù(ïð) . 2 2 p n R V R I − = = (15) Òîãäà íàïðÿæåíèå, ïàäàþùåå íà ð�n-ïåðåõîäå, ðàâíî 1 2 0 îáù(ïð) 2(ïð) îáù,ïðÿì0 îáù(ïð) . 2 m p n mp n V V I I − − −− = ⋅ (16) Ñîîòâåòñòâåííî ñóììàðíîå íàïðÿæåíèå, ïàäàþùåå íà çàïèðàåìûõ ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííûõ ìåòàë- ëîïîëóïðîâîäíèêîâûõ m�p- è n�m-ïåðåõîäàõ, îïðå- äåëÿåòñÿ ñ ïîìîùüþ ôîðìóë (2), (11) è (16): 1 21 1(îáð) îáù,ïðÿì 2(ïð) . m p n m p nV V V− − − −= − (17) Ñ äðóãîé ñòîðîíû, ñ ó÷åòîì (7), (8), (9), ðåøàÿ óðàâíåíèÿ (11) è (18) 2 1 0 3 3 0 11 , n m m p V Å ÅV − − = (18) ïîëó÷èì âûðàæåíèå, ñâÿçûâàþùåå íàïðÿæåíèå, ïà- äàþùåå íà îäíîì èç ïåðåõîäîâ, m1�p, ñ ñóììàðíûì íàïðÿæåíèåì: 1 0 1 1 1(îáð) 1(îáð) 0 0 1 3 ,m p Å V V Å Å − = ⋅ + (19) ãäå 0 1 0 0 1 3 Å Å Å+ � êîýôôèöèåíò, îòðàæàþùèé ñîîòíî- øåíèå ýëåêòðè÷åñêèõ ïîëåé ìåæäó ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííûìè ìåòàëëîïîëóïðîâîäíèêîâûìè áàðüå- ðàìè, ïðè÷åì 0 0 1 1 0 0 0 0 1 3 1 3ïð îáð . Å Å Å Å Å Å     =   + +    (20) Âîñïîëüçîâàâøèñü ôîðìóëîé (11), îïðåäåëèì íà- ïðÿæåíèå, ïàäàþùåå íà äðóãîì, n�m2-ïåðåõîäå: 2 11 3(îáð) 1(îáð) 1(îáð) .n m m pV V V− −= − (21)  ðåæèìå çàïèðàíèÿ p�n-ïåðåõîäà, òàê æå íà îñ- íîâå ðàâåíñòâà òîêîâ, ïðîòåêàþùèõ ÷åðåç âñå ïåðå- õîäû, 1 2 1 2 1(ïð) 2(îáð) 3(ïð) îáù,îáð m p n m m p n mp nI I I I− − − − −−= = = (22) è ó÷èòûâàÿ îñîáåííîñòè òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðû, îòðàæåííîé â ôîðìóëå (4), âûâåäåì ôîðìóëû äëÿ îïðåäåëåíèÿ ïåðåðàñïðåäåëåíèÿ ïàäàþùèõ íàïðÿæå- íèé 1 1 m pV − , 2 p nV − è 2 3 n mV − íà êàæäîì èç ïåðåõîäîâ ðèñ. 2.  ýòîì ðåæèìå õîä êðèâîé ïîñëå òî÷êè ïåðå- ãèáà âîëüò-àìïåðíîé õàðàêòåðèñòèêè îïðåäåëÿåòñÿ çà- ïèðàåìûì p�n-ïåðåõîäîì. Çäåñü ñîïðîòèâëåíèÿ 2(îáð) p nR − è 1 1(ïð)R â òî÷êå ïåðåãèáà âîëüò-àìïåðíîé õà- ðàêòåðèñòèêè ðàâíû ìåæäó ñîáîé, ïîýòîìó ñîïðî- òèâëåíèå êàæäîãî ïåðåõîäà ðàâíî ïîëîâèíå îáùåãî ñîïðîòèâëåíèÿ. Ïðè ýòîì ïîëó÷àåì äàííûå òîêîâ è íàïðÿæåíèé V0, I0 äëÿ ýòîé âåòâè è èç âûðàæåíèÿ (13) íàõîäèì ñóììàðíûå íàïðÿæåíèÿ 1 1V , ïàäàþùèå íà ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííûõ ïðÿìîñìåùàåìûõ ìå- òàëëîïîëóïðîâîäíèêîâûõ m1�p- è n�m2-ïåðåõîäàõ: 1 2 0 îáù(îáð)1 1(ïð) îáù,îáð0 îáù(îáð) . 2 m p n mV V I I − − −= ⋅ (23) Ó÷èòûâàÿ ñîîòíîøåíèå (20), íàõîäèì íàïðÿæåíèÿ, ïàäàþùèå íà ïðÿìîñìåùàåìîì m1�p-ïåðåõîäå, 1 0 1 1 1(ïð) 1(ïð) 0 0 1 3 ,m p Å V V Å Å − = ⋅ + (24) è èñïîëüçóÿ ôîðìóëó (23), îïðåäåëÿåì íàïðÿæåíèÿ, ïàäàþùèå íà âòîðîì ïðÿìîñìåùàåìîì n�m2-ïåðå- õîäå: 2 11 3(ïð) 1(ïð) 1(ïð) .n m m pV V V− −= − (25) Äàëåå íàõîäèì 2 p nV − â çàïèðàåìîì p�n-ïåðåõîäå: 1 2 1 2(îáð) îáù(îáð) 1(ïð) . m p n mp nV V V− − −− = − (26) Äëÿ ñëó÷àÿ ñèììåòðè÷íîé òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòó- ðû ïð îáð îáù îáùR R= çíà÷åíèÿ ïàäàþùèõ íàïðÿæåíèé íà îòäåëüíûõ ïåðåõîäàõ îïðåäåëÿþòñÿ ñ ó÷åòîì ðàâåíñòâà ñóììàðíûõ íàïðÿæåíèé ïðè ñìåíå ïîëÿðíîñòè ðàáî- ÷åãî íàïðÿæåíèÿ 1 1 2(ïð) 1(îáð) ïð 1(ïð) 2(îáð) îáð ( ) ( ) .p n p nV V V V− −+ = + 1 21 2(ïð) 1(îáð) îáù .m p n mp nV V V − − −− + = (27) Êîýôôèöèåíò 0 1 0 0 1 3 Å Å Å+ äëÿ ñèììåòðè÷íîé òðåõáàðü- åðíîé ñòðóêòóðû ðàññ÷èòûâàåòñÿ íà îñíîâå èñõîä- íûõ äàííûõ êàæäîãî èç ïåðåõîäîâ. Äàëåå, ó÷èòûâàÿ 34 ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 4 âû÷èñëåííûå çíà÷åíèÿ êîýôôèöèåíòà è ôîðìóëó (27), ñ ïîìîùüþ ôîðìóë (16), (17), (19), (21) îïðåäåëÿåì íàïðÿæåíèÿ, ïàäàþùèå íà p�n-ïåðåõîäå ( )2(ïð) p nV − , ïà- äàþùèå íà ïîñëåäîâàòåëüíî ñîåäèíåííûõ ìåòàëëî- ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïåðåõîäàõ ( )1 1(îáð)V , à òàêæå íà îòäåëüíûõ m1�p- è n�m2-ïåðåõîäàõ ( 1 1 m pV − è 2 3 n mV − ). Ïåðåðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà äàííûì ñïîñîáîì îïðåäåëÿëè íà ñïåöèàëüíî èçãîòîâëåííûõ òðåõáàðü- åðíûõ ñòðóêòóðàõ.  êà÷åñòâå ïîäëîæêè âûáðàëè nGaAs:Î ñ êîíöåíòðàöèåé íîñèòåëåé Nm=1·1015 ñì�3. Ãîìîïåðåõîäû ðGaAs�nGaAs ïîëó÷èëè âûðàùèâàíè- åì èç æèäêîé ôàçû ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ ðGaAs, ëåãè- ðîâàííîãî Zn äî êîíöåíòðàöèè íîñèòåëåé Np=7·1015 ñì�3. Òîëùèíà ïëåíîê ñîñòàâëÿëà 2�3 ìêì. Íàïûëÿÿ â âàêóóìå ñåðåáðî íà îáå ïîâåðõíîñòè, èçãîòîâèëè �íåñèììåòðè÷íóþ� òðåõáàðüåðíóþ Ag�ðGaAs�nGaAs� Ag-ñòðóêòóðó.  ýòèõ âûïðÿìëÿþùèõ êîíòàêòàõ âû- ñîòà ïîòåíöèàëüíîãî áàðüåðà Ag�ðGaAs 1 1 m p−ϕ =0,62 ýÂ, à nGaAs�Ag � 2 2 n m−ϕ =0,88 ýÂ. Âûñîòû ïîòåíöèàëü- íûõ áàðüåðîâ îïðåäåëÿëè èç çàâèñèìîñòè êîðíÿ êâàä- ðàòíîãî èç ôîòîîòêëèêà, ïåðåñ÷èòàííîãî íà îäèí ôî- òîí, îò ýíåðãèè ôîòîíà ïðè ïîî÷åðåäíîì îñâåùåíèè ïîâåðõíîñòåé, ÷òî ñîãëàñóåòñÿ ñ äàííûìè, ïðèâåäåí- íûìè â ðàáîòå [18, ñ. 286�306]. Ïëîùàäü ñòðóêòóð äîâåäåíà ñêðàéáèðîâàíèåì äî 5×5 ìì2. Âîëüò-àìïåðíàÿ õàðàêòåðèñòèêà èññëåäóåìîé òðåõ- áàðüåðíîé m�ðGaAs�nGaAs�m-ñòðóêòóðû ïðèâåäåíà íà ðèñ. 5. Òîêè è íàïðÿæåíèÿ â òî÷êå ïåðåãèáà ÂÀÕ äëÿ ðåæèìà ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà (êðè- âàÿ 1) ñîñòàâëÿþò 0,057 ìêÀ è 4 Â, ñîîòâåòñòâåííî. Ñ ó÷åòîì ýòèõ äàííûõ íà îñíîâå ôîðìóë (16), (17), (19) è (21) âû÷èñëåíû çíà÷åíèÿ íàïðÿæåíèé 2(ïð) p nV − , 1 1(îáð)V , 1 1(îáð) m pV − , 2 3(îáð) n mV − . Íà îñíîâå ïîëó÷åííûõ íàïðÿæåíèé ñ ïîìîùüþ ôîðìóë (34)�(36) ðàññ÷èòàåì òîëùèíû ñëîåâ îáúåì- íîãî çàðÿäà çàïèðàåìûõ ìåòàëëîïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïåðåõîäîâ. 1 2 1 1 1 1 1(îáð)0 ( )2 ; m p m p m p p V W q N − − −  ϕ +εε =     (34) 1 2 2 2 2 1 3(îáð)0 (2 . n m n m n m n V W q N − − −  ϕ +εε =     (35) Íà îñíîâå äàííûõ òîëùèí ñëîåâ îáúåìíîãî çàðÿ- äà âû÷èñëèì åìêîñòè è íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷å- ñêèõ ïîëåé äëÿ êàæäîãî ïåðåõîäà ñ ïîìîùüþ ôîðìóë 0 ; S C W εε = (36) , V E W = (37) ãäå S � ïëîùàäü è W � òîëùèíà ñëîÿ îáúåìíîãî çàðÿäà. Ðåçóëüòàòû ðàñ÷åòà ñîîòâåòñòâóþùèõ ïàðàìåòðîâ â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà ïðèâåäå- íû â òàáë. 1. Äëÿ ðåæèìà îáðàòíîãî ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà (ðèñ. 5, êðèâàÿ 2) òîêè è íàïðÿæåíèÿ â òî÷êå ïåðåãè- áà ÂÀÕ 0,022 ìêÀ è 2 Â, ñîîòâåòñòâåííî. Íà îñíîâå ýòèõ äàííûõ ïî ôîðìóëàì (23)�(26) âû÷èñëåíû çíà- ÷åíèÿ íàïðÿæåíèé 1 1(ïð)V , 1 1(ïð) m pV − , 2 3(ïð) n mV − è 2(îáð) p nV − . Íà îñíîâå ïîëó÷åííûõ íàïðÿæåíèé ñ ïîìîùüþ ôîðìóë (36)�(38) ðàññ÷èòàåì òîëùèíó ñëîÿ îáúåì- íîãî çàðÿäà, íàïðÿæåííîñòü ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ è åìêîñòè äëÿ çàïèðàåìîãî ð�n-ïåðåõîäà: 1 2 ê 2(îáð)0 ( ) ( )2 , p n p np n p n N N V V W q N N − −  + ⋅ +εε =     (38) ãäå Vê � êîíòàêòíàÿ ðàçíîñòü ïîòåíöèàëîâ ð�n-ïåðå- õîäà. Íà îñíîâå äàííûõ, ïðèâåäåííûõ â òàáë. 1, 2, ìîæ- íî óñòàíîâèòü ìåõàíèçìû òîêîïåðåíîñà â êàæäîì ïåðåõîäå, âçàèìîñâÿçü õîäà òîëùèíû ñëîåâ îáúåì- íîãî çàðÿäà, åìêîñòè ñ ýëåêòðè÷åñêèìè ïîëÿìè ïåðå- õîäîâ. Òàê, ñ íàïðÿæåííîñòüþ ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ è äèýëåêòðè÷åñêîé ïðîíèöàåìîñòüþ ïðÿìî ïðîïîð- öèîíàëüíî ñâÿçàíà åìêîñòü ïåðåõîäà. Ïðè ïîñëåäî- âàòåëüíîì ñîåäèíåíèè ïåðåõîäîâ îáùàÿ åìêîñòü óìåíüøàåòñÿ.  íàøèõ ñòðóêòóðàõ åìêîñòè òðåõ ïåðå- õîäîâ ñîåäèíåíû ïîñëåäîâàòåëüíî, áëàãîäàðÿ ÷åìó îá- ùàÿ åìêîñòü èìååò ìàëûå çíà÷åíèÿ (ñì. òàáë. 1, 2). Çàâèñèìîñòü òîêà îò íàïðÿæåíèÿ â ðàññìàòðèâàå- ìûõ òðåõáàðüåðíûõ ñòðóêòóðàõ â ëþáîì íàïðàâëå- íèè îïèñûâàåòñÿ ñòåïåííîé çàâèñèìîñòüþ .I V γ≈ (40) I, ìêÀ 100 10�1 10�2 0 10 20 30 40 V,  1 2 Ðèñ. 5. Âîëüò-àìïåðíàÿ õàðàêòåðèñòèêà òðåõáàðüåðíîãî m�ðGaAs�nGaAs�m-ôîòîäèîäà â ðåæèìå ïðÿìîãî (1) è îáðàòíîãî (2) ñìåùåíèÿ ð�n-ïåðåõîäà 1 2 îáù m p n mV − − − 2 4 6 8 10 14 18 20 1 2 îáù m p n mI − − − 0,027 0,057 0,086 0,115 0,143 0,208 0,241 0,265 2(ïð) p nV − 0,95 1,99 3,02 4,04 5,02 7,3 8,46 9,3 1 1(îáð)V 1,05 2,01 2,98 3,96 4,98 6,7 9,35 10,7 1 1(îáð) m pV − 0,72 1,39 2,06 2,73 3,44 4,6 6,45 7,4 1m pW − 4,9 6 6,9 7,76 8,5 9,69 11,28 12,01 Å, 105 Â/ñì 0,27 0,34 0,39 0,43 0,48 0,54 0,63 0,67 Ñ, 10–9 Ô 11,1 9,1 7,9 7,02 6,4 5,62 4,83 4,53 2 3(îáð) n mV − 0,33 0,62 0,92 1,23 1,54 2,1 2,9 3,3 2n mW − 12,3 13,7 15 16,3 17,5 19,4 21,8 22,9 Å, 105 Â/ñì 0,098 0,11 0,12 0,13 0,14 0,15 0,17 0,18 Ñ, 10–9 Ô 4,43 3,97 3,63 3,34 3,1 2,8 2,49 2,38 Òàáëèöà 1 Ïàðàìåòðû Ag�ðGaAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòóðû â ðåæèìå ïðÿìîãî ñìåùåíèÿ p�n-ïåðåõîäà Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå, 2006, ¹ 4 35 ÔÓÍÊÖÈÎÍÀËÜÍÀß ÌÈÊÐÎ- È ÍÀÍÎÝËÅÊÒÐÎÍÈÊÀ Íà îñíîâå çíà÷åíèé ïîêàçàòåëÿ ñòåïåíè âûÿñíèì ìåõàíèçìû îáðàçîâàíèÿ òîêîâûõ õàðàêòåðèñòèê â çà- ïèðàåìûõ ïåðåõîäàõ. Êàê âèäíî èç ðèñ. 6, âî âñåõ çàïèðàåìûõ ìåòàë- ëîïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïåðåõîäàõ ñ óâåëè÷åíèåì íà- ïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ íàáëþäàåì óìåíü- øåíèå ïîêàçàòåëÿ ñòåïåíè îò 1,0 äî 0,5. Íàáëþäàå- ìóþ çàâèñèìîñòü ìîæíî îáúÿñíèòü ïîñòåïåííîé ñìå- íîé ìåõàíèçìà òåðìîýëåêòðîííîé ýìèññèè íà ãåíå- ðàöèþ íîñèòåëåé â ñëîå îáúåìíîãî çàðÿäà çàïèðàå- ìîãî ïåðåõîäà. Ïðè ñìåíå ïîëÿðíîñòè ïðèëàãàåìîãî èçâíå íàïðÿ- æåíèÿ èìååì îáðàòíóþ çàêîíîìåðíîñòü, ïîêàçàòåëü ñòåïåíè â îáðàòíîñìåùåííîì ð�n-ïåðåõîäå pGaAs� nGaAs c óâåëè÷åíèåì íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêî- ãî ïîëÿ íà÷èíàÿ ñ 0,5 ïîñòåïåííî âîçðàñòàåò äî 1,3, ò. å. ñ óâåëè÷åíèåì íàïðÿæåíèÿ ìåõàíèçì ãåíåðàöèè íîñèòåëåé â ñëîå îáúåìíîãî çàðÿäà ñìåíÿåòñÿ òåðìî- ýëåêòðîííîé ýìèññèåé.  çàêëþ÷åíèå ìîæíî îòìåòèòü, ÷òî íà îñíîâå íà- ïðÿæåíèé, ïàäàþùèõ íà êàæäîì ïåðåõîäå, ìîæíî óñ- òàíîâèòü ïðîöåññû ôîðìèðîâàíèÿ òîêîâûõ õàðàêòå- ðèñòèê ïðèìåíèòåëüíî ê êàæäîìó ïåðåõîäó, óñòàíî- âèòü âçàèìîñâÿçü âûõîäíûõ õàðàêòåðèñòèê ñ ïàðà- ìåòðàìè êàæäîãî èç ïåðåõîäîâ. Ðàñ÷åòû ïîêàçûâà- þò, ÷òî â îáåèõ ïîëÿðíîñòÿõ ðàáî÷åãî ðåæèìà äîìè- íèðóþùèå ïåðåõîäû íàõîäÿòñÿ â ðåæèìå çàïèðàíèÿ. Ìíîãîôóíêöèîíàëüíîñòü òàêèõ òðåõáàðüåðíûõ ñòðóê- òóð çàêëþ÷àåòñÿ â òîì, ÷òî îíè, íåçàâèñèìî îò ïî- ëÿðíîñòè ïðèëàãàåìîãî íàïðÿæåíèÿ, ïðè âîçáóæäå- íèè ñ îáåèõ ñòîðîí ìîãóò ðàáîòàòü â ôîòîäèîäíîì ðåæèìå. Òî åñòü ïðèìåíåííûé ïîäõîä îïðåäåëåíèÿ íàïðÿæåíèé, ïàäàþùèõ íà êàæäîì ïåðåõîäå, ìîæåò áûòü èñïîëüçîâàí äëÿ èçó÷åíèÿ ïàðàìåòðîâ ïîäîáíûõ ñòðóêòóð ïðè îïòè÷åñêîì è òåïëîâîì âîçáóæäåíèè. Çàêëþ÷åíèå Òàêèì îáðàçîì, íà îñíîâå âîëüò-àìïåðíûõ õàðàê- òåðèñòèê òðåõáàðüåðíîé ñòðóêòóðû ìîæíî íàéòè ïå- ðåðàñïðåäåëåíèå ïîòåíöèàëà ìåæäó ïåðåõîäàìè, òîëùèíû ñëîåâ îáúåìíîãî çàðÿäà è íàïðÿæåííîñòè ýëåêòðè÷åñêèõ ïîëåé, åìêîñòè êàæäîãî èç ïåðåõîäîâ, êîòîðûå ïîçâîëÿþò îïðåäåëèòü ìåõàíèçìû òîêîïåðå- íîñà è îñîáåííîñòè ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè, ÷àñòîò- íûå ñâîéñòâà. ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÛÅ ÈÑÒÎ×ÍÈÊÈ 1. Àëôåðîâ Æ. È., Àíäðååâ Â. Ì., Ðóìÿíöåâ Â. Ä. Òåíäåíöèè è ïåðñïåêòèâû ðàçâèòèÿ ñîëíå÷íîé ôîòîýíåðãåòèêè // ÔÒÏ.� 2004.� Ò. 38, âûï. 8.� Ñ. 937�947. 2. Àâåðèí Ñ. Â. Îïðåäåëåíèå õàðàêòåðèñòèê êîíòàêòà ìåòàëë- ïîëóïðîâîäíèê äëÿ âñòðå÷íî-øòûðåâûõ ôîòîäèîäíûõ ñòðóêòóð // Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1990.� Ò. 16, âûï 4.� Ñ. 49�53. 3. ¨äãîðîâà Ä. Ì., ßêóáîâ Ý. Í. Äåòåêòîðû îïòè÷åñêîãî ñèã- íàëà íà îñíîâå ñòðóêòóð Au�nSi�Al, Au�nSi // Òåõíîëîãèÿ è êîí- ñòðóèðîâàíèå â ýëåêòðîííîé àïïàðàòóðå.� 2005.� ¹ 4.� Ñ. 39�42. 4. Ïàò. 933 ÐÓç. Òðåõáàðüåðíûé ôîòîäèîä Êàðèìîâà / À. Â. Êàðèìîâ.� 1994. 5. À. ñ. 676399 ÑÑÑÐ. Òðåõáàðüåðíûé ôîòîäèîä Êàðèìîâà / À. Â. Êàðèìîâ.� 1991. 6. Êàðèìîâ À. Â., ¨äãîðîâà Ä. Ì., Âàõîáîâ Ê. è äð. Äâóõñòî- ðîííå-÷óâñòâèòåëüíûå ôîòîäèîäíûå ñòðóêòóðû â ñèñòåìå àðñå- íèä ãàëëèÿ�ñóëüôèä êàäìèÿ // Èíæåíåðíî-ôèçè÷åñêèé æóðíàë.� 2003.� Ò. 76, ¹ 1.� Ñ. 167�169. 7. Êàðèìîâ À. Â. Ôîòîýëåêòðè÷åñêîå óñèëåíèå â òðåõáàðüåð- íîé ñòðóêòóðå // Ëàçåðíàÿ òåõíèêà è îïòîýëåêòðîíèêà.� 1993.� ¹ 3.� Ñ. 83�85. 8. Êàðèìîâ A. Â. Òðåõáàðüåðíûé ôîòîäèîä // Òàì æå.� 1991.� ¹ 3.� Ñ. 53�55. 9. Áåëÿåâ À. Ï., Ðóáåö Â. Ï.,Òàøõîäæàåâ Õ. À., Êàëèíêèí È. Ï. Èíâåðñèÿ òèïà ïðîâîäèìîñòè ñëîÿ ñåëåíèäà öèíêà â ãåòåðî- ñòðóêòóðå // ÔÒÏ.� 1993.� Ò. 27, ¹ 3.� Ñ. 527�532. 10. Mitchell K. W., Fahrenbruch A. L., Bube R. H. Evaluation of the CdS/CdTe heterojunction solar cell // J. Appl. Phys.� 1977.� Vol. 48, Issue 10.� Ð. 4365�4371. 11. Óøàêîâ Í. Ì., Ñîëîäêèé À. Í., Âåäóö Â. Ý., Ïåòðîñÿí Â. È. Âíóòðåííåå ôîòîóñèëåíèå â ïëàíàðíûõ ñòðóêòóðàõ ñ áàðüåðîì Áàðäèíà íà GaAs // Ïèñüìà â ÆÒÔ.� 1990.� Ò. 16, âûï. 1.� Ñ. 17�21. 12. Âèêóëèí È. Ì., Ñòàôååâ Â. È. Ôèçèêà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ.� Ì.: Ðàäèî è ñâÿçü, 1990. 13. Karimov A. V., Karimova D. A. Three-junction Au/AlGaAs(n)/ GaAs(p)/Ag photodiode // Materials Science in Semiconductor Processing.� 2003.� Vol. 6.� P. 137�142. 14. Êàðèìîâ À. Â., ¨äãîðîâà Ä. Ì. Ôèçè÷åñêèå ÿâëåíèÿ â àðñåíèäãàëëèåâûõ ñòðóêòóðàõ ñ ìèêðîñëîéíûì êâàçèèçîïåðèî- äè÷åñêèì ïåðåõîäîì.� Òàøêåíò: Ôàí, 2005. 15. ¨äãîðîâà Ä. Ì., Êàðèìîâ À. Â. Îïðåäåëåíèå õàðàêòåðèñ- òèê äâóõáàðüåðíûõ ôîòîäèîäíûõ ñòðóêòóð ñ ìåòàëëîïîëóïðî- âîäíèêîâûìè ïåðåõîäàìè // Òåõíîëîãèÿ è êîíñòðóèðîâàíèå â ýëåê- òðîííîé àïïàðàòóðå.� 2005.� ¹ 5.� Ñ. 27�30. 16. Øóð Ì. Ñîâðåìåííûå ïðèáîðû íà îñíîâå àðñåíèäà ãàë- ëèÿ.� Ì.: Ìèð, 1991. 17. Ôàðåíáðóõ À., Áüþá Ð. Ñîëíå÷íûå ýëåìåíòû.� Ì.: Ýíåð- ãîàòîìèçäàò, 1987. 18. Çè Ñ. Ì. Ôèçèêà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïðèáîðîâ. Êí. 1.� Ì.: Ìèð, 1984. 1 2 îáù m p n mV − − − ,  2 6 10 14 20 30 40 50 1 2 îáù m p n mI − − − 0,022 0,048 0,065 0,076 0,093 0,125 0,17 0,213 1 1(ïð)V ,  0,99 2,18 2,96 3,46 4,23 5,69 7,74 9,69 1 1(ïð) m pV − ,  0,68 1,5 2,04 2,39 2,92 3,93 5,34 6,6 2 3(ïð) n mV − ,  0,31 0,68 0,92 1,07 1,31 1,76 2,4 3,09 2(îáð) p nV − ,  1,01 3,82 7,04 10,54 15,8 24,3 32,26 40,31 p nW − , 10–5 ñì 17,4 26,6 34,1 40,9 49,3 60,5 69,3 77,2 Å, 105 Â/ñì 0,12 0,18 0,24 0,28 0,34 0,42 0,48 0,54 Ñ, 10 –9 Ô 3,1 2 1,6 1,3 1,2 0,9 0,79 0,71 Òàáëèöà 2 Ïàðàìåòðû Ag�ðGaAs�nGaAs�Ag-ñòðóêòóðû â ðåæèìå îáðàòíîãî ñìåùåíèÿ p�n-ïåðåõîäà γ 1,4 1,2 1,0 0,8 0,6 0,4 0,2 0,4 0,6 Å, 105 Â/ñì 1 2 3 1 � m1�p 2 � n�m2 3 � p�n Ðèñ. 6. Çàâèñèìîñòü ïîêàçàòåëÿ ñòåïåíè îò íàïðÿæåí- íîñòè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ â çàïèðàåìûõ m1�p- è n�m2- ïåðåõîäàõ (1, 2) è â çàïèðàåìîì ð�n-ïåðåõîäå (3)

Ähnliche Einträge